[發明專利]檢查裝置

在審

• 申請號: 201611166886.2
• 申請日: 2016-12-16
• 公開（公告）號: CN107037058A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 伊藤優作;矢野紘英;谷本宙一;久木田瑠璃子
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89;G01N21/892;G01B11/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,于靖帥

1.一種檢查裝置，其對板狀的被檢查物進行檢查，其特征在于，

該檢查裝置具有：

保持工作臺，其對被檢查物進行保持；

旋轉機構，其使該保持工作臺旋轉；以及

檢查單元，其對保持在該保持工作臺上的被檢查物進行檢查，

該檢查單元包含取得檢查信息的第1檢測單元和第2檢測單元，該檢查信息被用于檢測被檢查物的缺損、被檢查物的表面的傷痕、附著于被檢查物的附著物以及被檢查物的厚度中的任意情況，

一邊使保持著被檢查物的狀態的該保持工作臺旋轉，一邊使該檢查單元按照包含被檢查物的中心在內的直線狀的區域直線移動，從而利用該第1檢測單元和該第2檢測單元取得檢查信息。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述第1檢測單元和所述第2檢測單元分別是如下的單元中的任意的單元：

明視野拍攝單元，其利用明視野觀察法對被檢查物進行拍攝而取得檢查信息；

暗視野拍攝單元，其利用暗視野觀察法對被檢查物進行拍攝而取得檢查信息；

表面檢查單元，其對因被檢查物而散射的光進行檢測而取得檢查信息；以及

厚度測量單元，其對被檢查物的上表面的高度進行測量而取得檢查信息。

3.根據權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

該檢查裝置還具有：

第1控制部，其對所述檢查單元的直線移動進行控制，并存儲該檢查單元的坐標；以及

第2控制部，其對所述保持工作臺的旋轉進行控制，并存儲該保持工作臺的旋轉角度，

該檢查裝置根據被檢查物的任意的基準點的坐標、存儲于該第1控制部的該檢查單元的坐標以及存儲于該第2控制部的該保持工作臺的旋轉角度而在被檢查物上確定出取得了檢查信息的位置。

4.根據權利要求3所述的檢查裝置，其特征在于，該檢查裝置還具有：

圖像生成部，其根據被檢查物的所述基準點的坐標、存儲于所述第1控制部的所述檢查單元的坐標、存儲于所述第2控制部的所述保持工作臺的旋轉角度以及所述第1檢測單元或者所述第2檢測單元所取得的檢查信息而生成圖像；以及

顯示器，其對該圖像生成部所生成的圖像進行顯示。