[發(fā)明專利]一種激光分能裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611165606.6
• 申請(qǐng)日: 2016-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN106735876B
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何崇文;劉娟娟;王斐;范小康;李立坤;余海龍;許學(xué)軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢光谷航天三江激光產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/067
• 分類號(hào): B23K26/067
• 代理公司: 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

本發(fā)明涉及激光分能技術(shù)領(lǐng)域，提供一種激光分能裝置，包括連續(xù)可調(diào)擴(kuò)束鏡、分束鏡組件、第一聚焦組件、第二聚焦組件；所述分束鏡組件包含與入射激光光軸傾斜設(shè)置的空心平面分束鏡，所述空心平面分束鏡包括空心透射部分和鏡面反射部分；所述連續(xù)可調(diào)擴(kuò)束鏡對(duì)準(zhǔn)直入射激光進(jìn)行擴(kuò)束，且擴(kuò)束比連續(xù)可調(diào)；經(jīng)擴(kuò)束的準(zhǔn)直光束進(jìn)入所述空心平面分束鏡后分成至少兩路，一路經(jīng)所述空心透射部分透射到所述第一聚焦組件，另一路經(jīng)所述鏡面反射部分反射到所述第二聚焦組件；解決了現(xiàn)有激光分能技術(shù)中固定分能器輸出功率不可調(diào)的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了任意偏振態(tài)激光的分能及分能比的連續(xù)調(diào)節(jié)，從而滿足輸出功率連續(xù)可調(diào)的激光加工生產(chǎn)和工藝研發(fā)領(lǐng)域的分能應(yīng)用需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光分能技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種激光分能裝置。

背景技術(shù)

激光加工具有速度快、無(wú)噪聲和非接觸式加工等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于激光打孔、焊接、切割、打標(biāo)等領(lǐng)域；在高功率激光加工領(lǐng)域，為提高工作效率和設(shè)備集成度，通過(guò)激光分能進(jìn)行多路加工成為必要。

現(xiàn)有技術(shù)中采用的固定分能器利用部分透射部分反射鏡片或棱鏡實(shí)現(xiàn)激光分束，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，但不滿足輸出功率連續(xù)可調(diào)的激光加工生產(chǎn)和工藝研發(fā)領(lǐng)域。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的一種激光分能裝置，解決現(xiàn)有激光分能技術(shù)中采用固定分能器不能實(shí)現(xiàn)激光輸出功率連續(xù)可調(diào)的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了任意偏振態(tài)激光的分能及分能比的連續(xù)調(diào)節(jié)，以滿足激光加工生產(chǎn)和工藝研發(fā)領(lǐng)域中的加工件材料不同所需的激光能量密度或功率不同或?qū)ν徊牧系亩鄻邮郊庸ぁ?/p>

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：

一種激光分能裝置，其特征在于，包括連續(xù)可調(diào)擴(kuò)束鏡、分束鏡組件、第一聚焦組件、第二聚焦組件；

所述分束鏡組件包含與入射激光光軸傾斜設(shè)置的空心平面分束鏡，其中，所述空心平面分束鏡包括空心透射部分和鏡面反射部分；

所述連續(xù)可調(diào)擴(kuò)束鏡對(duì)準(zhǔn)直入射激光進(jìn)行擴(kuò)束后出射準(zhǔn)直光束，且所述擴(kuò)束比連續(xù)可調(diào)；

所述空心平面分束鏡接收所述出射光束后將所述出射光束分成至少兩路，一路經(jīng)過(guò)所述空心透射部分透射到所述第一聚焦組件，另一路經(jīng)過(guò)所述鏡面反射部分反射到所述第二聚焦組件；

所述第一聚焦組件接收到來(lái)自空心平面分束鏡的透射光束后進(jìn)行聚焦，并作用于第一工作面上；

所述第二聚焦組件接收到來(lái)自空心平面分束鏡的反射光束后進(jìn)行聚焦，并作用于第二工作面上。

進(jìn)一步地，所述空心平面分束鏡法線與入射光軸呈±(10°～80°)范圍內(nèi)夾角設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述分束鏡組件還包括鏡組殼體與反射鏡鏡座，該鏡組殼體一側(cè)設(shè)置有激光入射端口，另一側(cè)設(shè)置有與激光入射端口同軸的激光透射端口；所述鏡組殼體的底部設(shè)置有激光反射端口；

所述反射鏡鏡座設(shè)置于鏡組殼體內(nèi)部，所述空心平面分束鏡固定于所述反射鏡鏡座上。

進(jìn)一步地，所述的鏡組殼體內(nèi)部設(shè)置有消光螺紋。

進(jìn)一步地，所述空心平面分束鏡透射光束的光路上設(shè)置第一遮光器；所述空心平面分束鏡反射光束的光路上設(shè)置第二遮光器。

進(jìn)一步地，所述第一聚焦組件上設(shè)置第一防護(hù)罩；

所述第二聚焦組件上設(shè)置第二防護(hù)罩。

進(jìn)一步地，所述的空心平面分束鏡后表面具有楔角。

進(jìn)一步地，所述的連續(xù)可調(diào)擴(kuò)束鏡和或第一聚焦組件和或第二聚焦組件的內(nèi)部光學(xué)元件鍍高損傷閾值增透膜；

所述空心平面分束鏡鏡面鍍高損傷閾值的高效反射膜。