[發明專利]柔性顯示屏結構及其制作方法

有效

• 申請號: 201611163661.1
• 申請日: 2016-12-15
• 公開（公告）號: CN106783917B
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 李雙;孫亮
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;G09F9/33;H01L21/70
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種柔性顯示屏結構，其特征在于，包括一柔性基底(1)、設于所述柔性基底(1)的第一顯示區(2)、設于所述柔性基底(1)的第二顯示區(4)、以及設于所述柔性基底(1)且連接所述第一顯示區(2)與所述第二顯示區(4)的外折區(3)；

所述第一顯示區(2)與所述第二顯示區(4)內均布設陣列像素電路，所述外折區(3)包括用于連接所述第一顯示區(2)的所述陣列像素電路與所述第二顯示區(4)的所述陣列像素電路的金屬連接線(31)、以及覆蓋所述金屬連接線(31)的柔性有機層；

所述第一顯示區(2)與所述第二顯示區(4)通過所述外折區(3)實現向外彎折；

所述外折區(3)的柔性有機層包括多層，且分別覆蓋在所述金屬連接線(31)的上下兩側；

所述外折區(3)包括設在柔性基底(1)上的緩沖層(241)、設在緩沖層(241)上方覆蓋所述金屬連接線(31)下側的第三柔性有機層(33)、覆蓋所述金屬連接線(31)上側層疊的第一柔性有機層(247)、及第二柔性有機層(249)。

2.如權利要求1所述的柔性顯示屏結構，其特征在于，所述第一顯示區(2)、所述第二顯示區(4)以及所述外折區(3)位于所述柔性基底(1)的同一側。

3.如權利要求1所述的柔性顯示屏結構，其特征在于，所述第一顯示區(2)與第二顯示區(4)均包括：設在柔性基底(1)上的緩沖層(241)、設在緩沖層(241)上的圖案化的半導體有源層(242)、依次層疊在半導體有源層(242)與緩沖層(241)上的多層無機絕緣層、設在最上層的無機絕緣層上并與半導體有源層(242)接觸的金屬布線層(246)、覆蓋金屬布線層(246)的第一柔性有機層(247)、設在第一柔性有機層(247)上并與金屬布線層(246)接觸的陽極(248)、及設在陽極(248)與第一柔性有機層(247)上的第二柔性有機層(249)；所述第二柔性有機層(249)暴露出部分陽極(248)；所述半導體有源層(242)、金屬布線層(246)、及陽極(248)構成所述陣列像素電路；

所述金屬連接線(31)連接第一顯示區(2)與第二顯示區(4)內的金屬布線層(246)。

4.如權利要求3所述的柔性顯示屏結構，其特征在于，所述柔性基底(1)的材質為聚酰亞胺。

5.如權利要求3所述的柔性顯示屏結構，其特征在于，所述柔性有機層的材質為有機光阻。

6.一種柔性顯示屏結構的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供一柔性基底(1)，在所述柔性基底(1)上先后涂布覆蓋緩沖層(241)、在欲形成第一顯示區(2)與第二顯示區(4)的區域制備圖案化的半導體有源層(242)、以及依次在半導體有源層(242)與緩沖層(241)上涂布層疊多層無機絕緣層；

步驟S2、使用一道光罩制備出金屬布線層(246)，所述金屬布線層(246)與半導體有源層(242)接觸；

步驟S3、使用另一道光罩在欲形成外折區(3)的區域將金屬布線層(246)及其下側的至少一層所述無機絕緣層蝕刻掉；

步驟S4、在欲形成外折區(3)的區域填涂有機材料，形成第三柔性有機層(33)；

步驟S5、使用再一道光罩在欲形成外折區(3)的區域制備出金屬連接線(31)，連接第一顯示區(2)與第二顯示區(4)內的金屬布線層(246)；

步驟S6、在所述金屬連接線(31)、金屬布線層(246)、及第三無機絕緣層(245)上涂布覆蓋第一柔性有機層(247)；

步驟S7、在第一柔性有機層(247)上欲形成第一顯示區(2)與第二顯示區(4)的區域制備出陽極(248)；

所述陽極(248)與金屬布線層(246)接觸；所述半導體有源層(242)、金屬布線層(246)、及陽極(248)構成陣列像素電路；

步驟S8、在陽極(248)與第一柔性有機層(247)上制備出第二柔性有機層(249)；

所述第二柔性有機層(249)暴露出部分陽極(248)。

7.如權利要求6所述的柔性顯示屏結構的制作方法，其特征在于，所述柔性基底(1)的材質為聚酰亞胺。

8.如權利要求6所述的柔性顯示屏結構的制作方法，其特征在于，所述第一柔性有機層(247)、第二柔性有機層(249)及第三柔性有機層(33)的材質為有機光阻。