[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611155034.3
• 申請(qǐng)日: 2016-12-14
• 公開（公告）號(hào): CN106637115B
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔新禮;黃穎;余華駿;王聲容
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞南玻工程玻璃有限公司;中國(guó)南玻集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C22F1/14
• 代理公司: 44202 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 張艷美;毛偉碧

1.一種旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，適用對(duì)旋轉(zhuǎn)銀靶材中的晶粒進(jìn)行輥壓細(xì)化，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材安裝于機(jī)床的主軸上，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置組裝于所述機(jī)床的托板上，所述托板沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向呈往復(fù)滑移的布置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置包括第一安裝架、第二安裝架、座架、驅(qū)動(dòng)器及相互配合輥壓的第一輥壓輪組和第二輥壓輪組，所述第一輥壓輪組安裝于所述第一安裝架并與該第一安裝架位于所述旋轉(zhuǎn)銀靶材徑向的一側(cè)處，所述第二輥壓輪組安裝于所述第二安裝架并與該第二安裝架位于所述旋轉(zhuǎn)銀靶材徑向的另一側(cè)處，所述驅(qū)動(dòng)器安裝在所述座架上，所述驅(qū)動(dòng)器與所述第一安裝架及第二安裝架中至少一者連接；當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使所述第一安裝架和第二安裝架相對(duì)運(yùn)動(dòng)而使所述第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起抱緊所述旋轉(zhuǎn)銀靶材時(shí)，則被所述主軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)銀靶材被所述第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起輥壓細(xì)化，且所述托板帶動(dòng)所述第一輥壓輪組和第二輥壓輪組沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向輥壓細(xì)化該旋轉(zhuǎn)銀靶材的各處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述座架與所述第二安裝架同側(cè)布置，所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使所述第二安裝架朝靠近或遠(yuǎn)離所述第一安裝架處移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述第一輥壓輪組包含沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的徑向呈一上一下布置的上輥壓輪及下輥壓輪，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸心位于所述第一輥壓輪組的上輥壓輪及下輥壓輪間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述第二輥壓輪組包含沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的徑向呈一上一下布置的上輥壓輪及下輥壓輪，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸心位于所述第二輥壓輪組的上輥壓輪及下輥壓輪間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述第一輥壓輪組的上輥壓輪與所述第二輥壓輪組的上輥壓輪相正對(duì)，所述第一輥壓輪組的下輥壓輪與所述第二輥壓輪組的下輥壓輪相正對(duì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述座架具有面對(duì)所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的容置活動(dòng)槽，所述第二安裝架呈匹配地置于所述容置活動(dòng)槽內(nèi)，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出端伸至所述容置活動(dòng)槽再與所述第二安裝架連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述容置活動(dòng)槽的上槽壁及下槽壁均凸伸出導(dǎo)軌部，所述第二安裝架的上下端部對(duì)應(yīng)地開設(shè)有導(dǎo)槽，所述導(dǎo)軌部嵌于所述導(dǎo)槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)器為一氣缸或一直線電機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，其特征在于，所述機(jī)床為一車床。