[發明專利]一種團簇束流實驗裝置及納米團簇的制備方法

有效

• 申請號: 201611154289.8
• 申請日: 2016-12-14
• 公開（公告）號: CN106637114B
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 張勤芳;王保林;樊樂樂;朱雷;王玨;孟強強;侯貴華;陸偉華;羅改霞
• 申請（專利權）人: 鹽城工學院
• 主分類號: G01N31/10
• 分類號: G01N31/10;C23C14/35;C23C14/32;B82Y30/00;B82Y35/00;B92Y40/00
• 代理公司: 11371 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 李佳

1.一種團簇束流實驗裝置，其特征在于，其包括團簇束流產生室、差分輸運室、在線催化測量室、團簇質量選擇器以及高真空團簇沉積室，所述團簇束流產生室、所述差分輸運室、所述在線催化測量室以及所述團簇質量選擇器依次密封連接；所述高真空團簇沉積室包括第一沉積室和第二沉積室，所述第一沉積室密封連接于所述在線催化測量室，所述差分輸運室、所述在線催化測量室的內腔和所述團簇質量選擇器的內腔均連通于所述第一沉積室，所述第二沉積室設置有用于接收團簇束流的進料口，所述團簇質量選擇器密封連接于所述進料口，所述在線催化測量室還設置有用于傳遞樣品的超高真空傳樣裝置，所述差分輸運室和所述在線催化測量室的內腔均連通于所述超高真空傳樣裝置。

2.根據權利要求1所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述團簇束流產生室中設置有用于產生團簇束流的磁控濺射設備。

3.根據權利要求2所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述差分輸運室內設置有用于控制團簇束流輸運的輸運差分系統。

4.根據權利要求3所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述差分輸運室內還設置有用于控制團簇束流準直的隔離器。

5.根據權利要求1所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述超高真空傳樣裝置還設置有控制閥，所述控制閥包括插板閥門和控制所述插板閥門的控制把手，其中，所述插板閥門位于所述超高真空傳樣裝置和所述在線催化測量室之間。

6.根據權利要求5所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述在線催化測量室內設置有用于為在線催化測量提供溫度條件的加熱裝置。

7.根據權利要求5所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述在線催化測量室還設置有用于對催化測試氣體精確調控的高精度質量流量計。

8.根據權利要求1所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述團簇質量選擇器內設置有用于篩選團簇束流的團簇質量選擇系統。

9.根據權利要求1所述的團簇束流實驗裝置，其特征在于，所述高真空團簇沉積室設置有用于調整所述高真空團簇沉積室位置的可活動底座，所述可活動底座轉動連接于所述高真空團簇沉積室的一端。

10.一種納米團簇的制備方法，其特征在于，基于權利要求1-9任一項所述的團簇束流實驗裝置，包括以下步驟：

將靶材放置于團簇束流產生室并密封，將所述靶材通過磁控濺射的方式加工為團簇束流；

將所述團簇束流通過差分輸運室輸送至第一沉積室、超高真空傳樣裝置或團簇質量選擇器內；輸送至所述第一沉積室的所述團簇束流具有集中的質量分布，且沉積在所述第一沉積室的襯底上；輸送至所述超高真空傳樣裝置的所述團簇束流繼續被輸送至在線催化測量室進行催化測試；將所述團簇束流輸送到質量選擇器內進行質量選擇的團簇具有固定的原子數，并最終沉積在第二沉積室的襯底上。