[發明專利]一種磷化銦背孔的制作方法有效
| 申請號： | 201611154073.1 | 申請日： | 2016-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN106684061B | 公開（公告）日： | 2019-01-25 |
| 發明（設計）人： | 常龍;程偉;王元 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第五十五研究所 |
| 主分類號： | H01L23/482 | 分類號： | H01L23/482;H01L21/60 |
| 代理公司： | 南京君陶專利商標代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210016 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磷化 銦背孔 制作方法 | ||
【說明書】：
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