[發(fā)明專利]一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201611143693.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-12-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106604188B | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 盧明輝;張欣;倪旭;王慶;葛浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南京大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H04R19/02 | 分類號(hào)： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 南京知識(shí)律師事務(wù)所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210093 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 薄膜 材料 靜電 揚(yáng)聲器 | ||
1.一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，包括定型夾具、聲輻射孔板、振膜、硅支撐環(huán)和絕緣墊，其特征在于，振膜為硅薄膜，硅薄膜表面附有一層金屬導(dǎo)電層；所述硅薄膜與硅支撐環(huán)為一體結(jié)構(gòu)，該一體結(jié)構(gòu)由雙面打磨的硅片進(jìn)行整體腐蝕制得，且所述硅薄膜通過共價(jià)鍵與外圍的硅支撐環(huán)相連；所述絕緣墊設(shè)置在聲輻射孔板與硅支撐環(huán)之間；所述定型夾具將聲輻射孔板、硅支撐環(huán)和絕緣墊三部分固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述硅薄膜為圓形，其直徑為9cm，厚度為5-15μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述硅支撐環(huán)的內(nèi)直徑為9cm，外直徑為10cm，厚度為300-375μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述金屬導(dǎo)電層為金，厚度為30nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述金屬導(dǎo)電層同時(shí)附著在硅薄膜表面和硅支撐環(huán)表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述聲輻射孔板由不銹鋼金屬孔板制成，孔的直徑為1mm，孔隙率為22.7％。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述絕緣墊的材料為硅橡膠，形狀為圓環(huán)形，其內(nèi)直徑為9cm，外直徑為10cm，厚度為0.4mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述定型夾具上設(shè)有引出電極的孔道。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的一種基于硅薄膜材料的靜電式揚(yáng)聲器，其特征在于，所述定型夾具的材料為ABS工程塑料，形狀為圓環(huán)形，其內(nèi)直徑為9cm，外直徑為11cm，厚度為0.5cm。
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