[發(fā)明專利]COA基板的制作方法、COA基板及液晶顯示面板

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201611143570.1
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106773240A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀暉
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

1.一種COA基板的制作方法，其特征在于，包括：

在第一襯底基板上形成薄膜晶體管層；

在所述薄膜晶體管層的遠離所述第一襯底基板的一側(cè)形成第一鈍化層，所述第一鈍化層形成連通所述薄膜晶體管層的第一過孔；

在所述第一鈍化層的遠離所述薄膜晶體管層的一側(cè)形成彩色濾光層，所述彩色濾光層具有彼此間隔設(shè)置的色阻塊和設(shè)置在相鄰的所述色阻塊之間的遮光塊，通過不同顏色的色阻層層疊形成所述遮光塊，所述彩色濾光層形成連通所述第一過孔的第二過孔；

通過一次曝光在所述彩色濾光層的遠離所述第一鈍化層的一側(cè)形成一體化的第二鈍化層和隔墊物，所述隔墊物位于所述第二鈍化層的遠離所述彩色濾光層的一側(cè)，所述第二鈍化層形成連通所述第二過孔的第三過孔；以及

在所述第二鈍化層的遠離所述彩色濾光層的一側(cè)形成像素電極層，所述像素電極層通過所述第三過孔、所述第二過孔以及所述第一過孔連接至所述薄膜晶體管層。

2.如權(quán)利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述第一鈍化層的遠離所述薄膜晶體管層的一側(cè)形成多個透光區(qū)和遮光區(qū)，所述多個透光區(qū)包括輪流間隔排布的第一透光區(qū)、第二透光區(qū)以及第三透光區(qū)，所述遮光區(qū)設(shè)于相鄰的所述透光區(qū)之間；

通過一次曝光在所述第一透光區(qū)形成第一色阻塊并在所述遮光區(qū)形成第一色阻層；

在所述第二透光區(qū)形成第二色阻塊；

通過一次曝光在所述第三透光區(qū)形成第三色阻塊并在所述遮光區(qū)形成第三色阻層，所述第一色阻層與所述第三色阻層層疊形成所述遮光塊，所述第一色阻塊、所述第二色阻塊以及所述第三色阻塊共同組成所述色阻塊。

3.如權(quán)利要求2所述的COA基板的制作方法，其特征在于，通過半色調(diào)光罩一次曝光第一色阻膜層，以形成所述第一色阻塊和所述第一色阻層。

4.如權(quán)利要求3所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述半色調(diào)光罩包括圖案化的不透光區(qū)、半透光區(qū)和透光區(qū)，所述透光區(qū)用于形成所述第一色阻塊，所述半透光區(qū)用于形成所述第一色阻層。

5.如權(quán)利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，通過多段式調(diào)整光罩一次曝光光阻層，以形成所述第二鈍化層和所述隔墊物。

6.如權(quán)利要求5所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述多段式調(diào)整光罩包括圖案化的第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域以及第四區(qū)域，所述第一區(qū)域不透光，所述第二區(qū)域的透光比例為30％至50％，所述第三區(qū)域的透光比例為50％至80％，所述第四區(qū)域完全透光。

7.如權(quán)利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述“在第一襯底基板上形成薄膜晶體管層”的步驟包括：

在所述第一襯底基板上形成柵極層；

在所述柵極層的遠離所述第一襯底基板的一側(cè)形成柵極絕緣層；

在所述柵極絕緣層的遠離所述柵極層的一側(cè)形成半導(dǎo)體層；以及

在所述柵極絕緣層的遠離所述柵極層的一側(cè)形成源極和漏極，所述源極和所述漏極分別連接至所述半導(dǎo)體層的兩端，以形成所述薄膜晶體管層。

8.一種COA基板，其特征在于，包括：

第一襯底基板；

薄膜晶體管層，設(shè)于第一襯底基板上；

第一鈍化層，位于所述薄膜晶體管層的遠離所述第一襯底基板的一側(cè)，所述第一鈍化層設(shè)有連通所述薄膜晶體管層的第一過孔；

彩色濾光層，位于所述第一鈍化層的遠離所述薄膜晶體管的一側(cè)，所述彩色濾光層具有彼此間隔設(shè)置的色阻塊和設(shè)置在相鄰的所述色阻塊之間的遮光塊，通過不同顏色的色阻層層疊形成所述遮光塊，所述彩色濾光層設(shè)有連通所述第一過孔的第二過孔；

一體成型的第二鈍化層和隔墊物，位于所述彩色濾光層的遠離所述第一鈍化層的一側(cè)，所述隔墊物位于所述第二鈍化層的遠離所述彩色濾光層的一側(cè)，所述第二鈍化層設(shè)有連通所述第二過孔的第三過孔；以及

像素電極層，位于所述第二鈍化層的遠離所述彩色濾光層的一側(cè)，所述像素電極層通過所述第三過孔、所述第二過孔以及所述第一過孔連接至所述薄膜晶體管層。