[發明專利]真空泵及在其中使用的分割靜翼部

有效

• 申請號: 201611139867.0
• 申請日: 2016-12-12
• 公開（公告）號: CN106917778B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 大立好伸;前島靖;高阿田勉
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D29/54
• 分類號: F04D29/54;F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;傅永霄

本發明提供一種能夠有效地防止分割靜翼部的抵接不良、適于得到良好的排氣性能的真空泵。真空泵具備渦輪分子泵部，所述渦輪分子泵部具有靜翼部和旋轉的動翼部，由前述動翼部和前述靜翼部將氣體排出，所述靜翼部通過將在圓周方向上形成的至少一個輪緣和具有與該輪緣一體地形成的多個葉片的多個分割靜翼部（11A、11B）相互在圓周方向端部（12a、12a）上抵接而構成為環狀；在至少一個前述分割靜翼部的圓周方向端部，具有防止與其他的前述分割靜翼部的圓周方向端部的抵接不良的抵接不良防止構造。

技術領域

本發明涉及被作為半導體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置中的處理腔室、其他腔室的氣體排氣機構等利用的真空泵及在其中使用的分割靜翼部，特別地，涉及通過有效地防止分割靜翼部的抵接不良而能夠得到良好的排氣性能的結構。

背景技術

這種以往的真空泵例如在專利文獻1中公開。該文獻1的真空泵具備由旋轉的動翼部（6）和固定的靜翼部（70）將氣體移送的渦輪分子部。

并且，該文獻1的真空泵的前述靜翼部（70）如在該文獻1的圖3或圖4等中公開的那樣，通過使兩個分割靜翼部（70A、70B）抵接而被設定為環狀。

此外，各個分割靜翼部（70A、70B）具備內外的輪緣（72a、72b、73a、73b）、和被該內外的輪緣支承的多個定子翼（71），并且使該內側的輪緣（72a、72b）的圓周方向端部抵接。

參照專利文獻1的圖12，在該文獻1的真空泵中，作為前述分割靜翼部（70A、70B）的具體的分割靜翼部抵接構造，如本申請的圖19的（a）、圖19的（b）所示，采用在使兩個分割靜翼部（70A、70B）抵接的狀態下、各個分割靜翼部（70A、70B）的圓周方向端部彼此對置的構造。此外，設有在與對置的另一個輪緣之間形成空隙的缺口（S），防止由因加工時的離差而分割靜翼部的圓周長變得比設計尺寸長造成的圓周方向端部的重疊或翹曲。進而，在對置的內外輪緣的另一個圓周方向端部設有彎折部（72b3），采用該彎折部（72b3）的正面側與對置的另一個前述圓周方向端部（72a1）抵接的構造。

但是，由于前述那樣的彎折部（72b3）是通過壓力下的彎折加工形成的，所以該彎折部（72b3）的根部附近外表面如本申請的圖19的（a）（b）所示那樣為圓弧面SF。因此，當使兩個分割靜翼部（70A、70B）抵接時，一方的圓周方向端部在與彎折部（72b3）的根部附近外表面（圓弧面SF）抵接后，在圓弧面SF上打滑而如本申請的圖19的（b）那樣潛入到另一方的圓周方向端部的下方。因而，如前面說明的專利文獻1的抵接構造那樣，在僅設有彎折部（72b3）的結構中，不能有效地防止因圓周方向端部的重疊造成的分割靜翼部的抵接不良。如果發生這樣的圓周方向端部的重疊，則預先以適于排氣的角度設定的定子翼（71）的傾斜角度變化，作為真空泵的排氣性能下降，不能得到良好的排氣性能。

進而，如果參照專利文獻1的圖11，則在該文獻1中，作為具體的分割靜翼部抵接構造，如本申請的圖20的（a）、圖20的（b）所示，還公開了在對置的雙方的圓周方向端部上設置彎折部（72a3、72b3）、這些彎折部（72a3、72b3）的正面側相互抵接的構造。

但是，由于前述那樣的彎折部（72a3、72b3）是通過壓力下的彎折加工形成的，所以不能避免在彎折部（72a3、72b3）上發生圖20的（a）那樣的彎曲的恢復。因此，在如前述那樣彎折部（72a3、72b3）的正面側相互抵接的構造中，由于在彎折部（72a3、72b3）上發生的彎曲的恢復，還可能發生以下狀況：如圖20的（a）那樣使兩個分割靜翼部（70A、70B）實際抵接時的抵接尺寸位置（以下稱作“實際的抵接尺寸位置”）超過設計上的抵接尺寸位置的容許誤差范圍。在此情況下，通過使兩個分割靜翼部（70A、70B）抵接，當彎折部（72a3、72b3）的正面側相互抵接時，在其抵接部產生設想外的反作用力，會發生某一方或雙方的分割靜翼部（70A、70B）翹曲等抵接不良，預先以適于排氣的角度設定的定子翼（71）的傾斜角度變化，所以作為真空泵的排氣性能下降，有可能無法得到良好的排氣性能。