[發明專利]電子顯微鏡的工作距離的校準裝置

有效

• 申請號: 201611135920.X
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN106783495B
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 孫占峰;朱漢生
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 周美華

本發明提供了一種電子顯微鏡的工作距離的校準裝置，該校準裝置包括：校準基體(10)，用于安裝在電子顯微鏡的樣品臺上，校準基體(10)具有沿其軸向且朝向電子顯微鏡的物鏡極靴設置的若干個校準平面(121)及向物鏡極靴突出且通過與物鏡極靴接觸配合以實現校準基體(10)定位的定位凸起(11)，若干個校準平面(121)中至少一個校準平面(121)上設有具有聚焦功能的至少三個校準孔(131)，在電子顯微鏡聚焦不變且所有校準孔(131)同時聚焦清楚時，物鏡極靴的下表面至每一校準平面(121)的距離為電子顯微鏡設定的工作距離。本發明的技術方案有效地解決了現有技術中沒有校準裝置對掃描電子顯微鏡的工作距離的問題。

技術領域

本發明涉及儀器儀表技術領域，具體涉及一種電子顯微鏡的工作距離的校準裝置。

背景技術

目前，掃描電子顯微鏡的工作距離是指樣品表面與物鏡下極靴的下表面之間的距離，在儀器出廠前需要進行校準。工作距離的校準是掃描電子顯微鏡調試和校準過程中非常重要的一部分工作。但是，現有技術中并沒有專門的校準裝置對工作距離進行校準。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種電子顯微鏡的工作距離的校準裝置，以解決現有技術中沒有校準裝置對掃描電子顯微鏡的工作距離的問題。

為了實現上述目的，本發明提供了一種電子顯微鏡的工作距離的校準裝置，包括：校準基體，用于安裝在電子顯微鏡的樣品臺上，校準基體具有沿其軸向且朝向電子顯微鏡的物鏡極靴設置的若干個校準平面及向物鏡極靴突出且通過與物鏡極靴接觸配合以實現校準基體定位的定位凸起，若干個校準平面中至少一個校準平面上設有具有聚焦功能的至少三個校準孔，在電子顯微鏡聚焦不變且所有校準孔同時聚焦清楚時，物鏡極靴的下表面至每一校準平面的距離為電子顯微鏡設定的工作距離。

進一步地，校準平面的個數不少于兩個時，其中一個校準平面設有至少三個校準孔，其余的校準平面上設有至少一個校準孔。

進一步地，校準基體為具有至少兩個臺階的柱形臺階狀結構，每一臺階的朝向物鏡極靴的臺階面形成校準平面；臺階面上設有安裝槽，安裝槽中安裝校準光蘭，校準光蘭的中心成型有校準孔，校準光蘭的朝向物鏡極靴的表面與其所在的臺階面重合；定位凸起設置在最靠近物鏡極靴的校準平面上。

進一步地，校準基體為圓柱形臺階狀結構，至少三個校準孔沿校準基體的圓周方向分布。

進一步地，定位凸起的朝向物鏡極靴的一端呈半球形。

進一步地，校準裝置還包括真空導電固定部，真空導電固定部覆蓋在校準光蘭和校準平面的相鄰的邊緣處。

進一步地，校準光蘭為圓形，校準光蘭的直徑為3mm。

進一步地，校準孔的直徑在10μm～100μm的范圍內，和/或，定位凸起的沿校準基體的軸線的長度為5mm，校準平面的個數為四個時，相鄰的兩個校準平面之間的距離為5mm，以使工作距離分別為5mm、10mm、15mm、20mm。

進一步地，校準基體的遠離物鏡極靴的表面上設置安裝柱，安裝柱用于安裝在樣品臺上的安裝孔中。

進一步地，，每個校準平面上設有對應工作距離的數值。