[發明專利]電子顯微鏡的工作距離的校準裝置

有效

• 申請號: 201611135920.X
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN106783495B
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 孫占峰;朱漢生
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 周美華

1.一種電子顯微鏡的工作距離的校準裝置，其特征在于，包括：

校準基體(10)，用于安裝在所述電子顯微鏡的樣品臺上，所述校準基體(10)具有沿其軸向且朝向所述電子顯微鏡的物鏡極靴設置的若干個校準平面(121)及向所述物鏡極靴突出且通過與所述物鏡極靴接觸配合以實現所述校準基體(10)定位的定位凸起(11)，所述若干個校準平面(121)中至少一個所述校準平面(121)上設有具有聚焦功能的至少三個校準孔(131)，在所述電子顯微鏡聚焦不變且所有校準孔(131)同時聚焦清楚時，所述物鏡極靴的下表面至每一所述校準平面(121)的距離為所述電子顯微鏡設定的工作距離。

2.根據權利要求1所述的校準裝置，其特征在于，所述校準平面(121)的個數不少于兩個時，其中一個所述校準平面(121)設有至少三個所述校準孔(131)，其余的所述校準平面(121)上設有至少一個校準孔(131)。

3.根據權利要求2所述的校準裝置，其特征在于，所述校準基體(10)為具有至少兩個臺階(12)的柱形臺階狀結構，每一所述臺階(12)的朝向所述物鏡極靴的臺階面形成所述校準平面(121)；所述臺階面上設有安裝槽，所述安裝槽中安裝校準光蘭(13)，所述校準光蘭(13)的中心成型有所述校準孔(131)，所述校準光蘭(13)的朝向所述物鏡極靴的表面與其所在的所述臺階面重合；所述定位凸起(11)設置在最靠近所述物鏡極靴的所述校準平面(121)上。

4.根據權利要求3所述的校準裝置，其特征在于，所述校準基體(10)為圓柱形臺階狀結構，所述至少三個校準孔(131)沿所述校準基體(10)的圓周方向分布。

5.根據權利要求1所述的校準裝置，其特征在于，所述定位凸起(11)的朝向所述物鏡極靴的一端呈半球形。

6.根據權利要求3所述的校準裝置，其特征在于，所述校準裝置還包括真空導電固定部(14)，所述真空導電固定部(14)覆蓋在所述校準光蘭(13)和所述校準平面(121)的相鄰的邊緣處。

7.根據權利要求3所述的校準裝置，其特征在于，所述校準光蘭(13)為圓形，所述校準光蘭(13)的直徑為3mm。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的校準裝置，其特征在于，所述校準孔(131)的直徑在10μm～100μm的范圍內，和/或，所述定位凸起(11)的沿所述校準基體的軸線的長度為5mm，所述校準平面(121)的個數為四個時，相鄰的兩個所述校準平面(121)之間的距離為5mm，以使所述工作距離分別為5mm、10mm、15mm、20mm。

9.根據權利要求1至7中任一項所述的校準裝置，其特征在于，所述校準基體(10)的遠離所述物鏡極靴的表面上設置安裝柱(15)，所述安裝柱(15)用于安裝在所述樣品臺上的安裝孔中。

10.根據權利要求1至7中任一項所述的校準裝置，其特征在于，每個所述校準平面(121)上設有對應所述工作距離的數值。