[發明專利]液體材料氣化裝置

有效

• 申請號: 201611127279.5
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN106906452B
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 伊東丈智;井上正規
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

1.一種液體材料氣化裝置，其特征在于，包括：

氣液混合部，將液體材料和氣體混合而生成氣液混合體；以及

氣化部，加熱所述氣液混合體，使所述液體材料氣化，

所述氣液混合部具有將所述氣液混合體導出的氣液混合體導出管，

所述氣化部具有加熱用配管，所述加熱用配管形成有加熱所述氣液混合體的加熱流道，

所述氣液混合體導出管的具有導出口的前端部分在所述加熱用配管的內部配置成與所述加熱用配管隔開間隙而不接觸，

所述氣化部具有第一連接部，所述第一連接部與所述加熱流道連通并向加熱模塊的外部伸出，

所述氣液混合體導出管具有第二連接部，所述第二連接部設置在所述氣液混合體導出管的與所述導出口相反側的外周部，并與所述第一連接部連接，

在所述氣液混合體導出管的導出口配置在所述加熱流道內的狀態下，所述第一連接部和所述第二連接部彼此連接。

2.根據權利要求1所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，所述加熱用配管內置于所述加熱模塊，所述加熱模塊內置有加熱器。

3.根據權利要求1或2所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，所述氣液混合體導出管的內部流道整體呈等斷面形狀。