[發(fā)明專利]工件加工裝置以及用于該工件加工裝置的藥液收納袋

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201611123561.6
• 申請日: 2016-12-08
• 公開（公告）號: CN106944916A
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 塚田雅之;澁谷和孝;布施貴之;中村由夫;原史朗
• 申請（專利權(quán)）人: 不二越機(jī)械工業(yè)株式會社;國立研究開發(fā)法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B57/02;B65D30/24;B65D33/14
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

1.一種工件加工裝置，其具有將藥液供給至處理部的藥液供給部和進(jìn)行工件的加工或處理的所述處理部，其特征在于，

所述藥液供給部具有：

多個藥液收納袋，其填充有藥液；

袋保持部，其安裝并保持有該多個藥液收納袋；以及

送液部，其裝卸自如地連接有所述多個藥液收納袋，將藥液從該藥液收納袋送入至所述處理部，

所述藥液收納袋呈將柔性樹脂片重合并將周緣部熔接而成的袋狀，并且具有與外部連通的端口部，在該端口部安裝有帶閥的接頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件加工裝置，其特征在于，

在所述藥液收納袋中在完成了排氣的狀態(tài)下填充有藥液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述袋保持部被配置于所述處理部的下方，并且被設(shè)置成能夠向裝置前方拉出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述藥液收納袋以所述帶閥的接頭側(cè)在上的方式呈懸掛狀態(tài)被保持于所述袋保持部，具有在袋內(nèi)朝向下方延伸的藥液抽吸管。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述藥液收納袋呈扁平狀態(tài)在相鄰的藥液收納袋彼此交替地在寬度方向上錯開的狀態(tài)下懸掛。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

該工件加工裝置具有測量部，該測量部測量被保持于所述袋保持部的狀態(tài)的所述藥液收納袋的重量。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述帶閥的接頭是魯爾鎖緊方式的接頭。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述藥液收納袋包括填充有研磨液作為藥液的袋。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述藥液收納袋包括各自分別填充有研磨液和純水作為藥液的袋。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述藥液收納袋包括填充有沖洗工件的沖洗液作為藥液的袋。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述藥液收納袋包括填充有清洗工件的清洗液作為藥液的袋。

12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述工件是尺寸為1/2英寸的半導(dǎo)體晶片。

13.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述工件加工裝置具備向所述藥液收納袋中填充藥液的填充裝置，該填充裝置具有：空氣排出部，其排出所述藥液收納袋內(nèi)的空氣；以及測量部，其測量填充于所述藥液收納袋的藥液的重量或者容量。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的工件加工裝置，其特征在于，

所述填充裝置具有：

原液收納部，其收納原液的藥液；

純水收納部，其收納純水；

載置部，其載置有所述藥液收納袋；

排出罐；

第1管路，其從所述原液收納部依次經(jīng)由第1止回閥、第1三通閥、第2三通閥而通向所述藥液收納袋，能夠?qū)⑺幰簭乃鲈菏占{部送出至所述藥液收納袋；

第2管路，其從所述純水收納部依次經(jīng)由第2止回閥、所述第1三通閥、所述第2三通閥而通向所述藥液收納袋，能夠?qū)⒓兯畯乃黾兯占{部送出至所述藥液收納袋；

第3管路，其從所述藥液收納袋依次經(jīng)由所述第2三通閥、第3止回閥而通向所述排出罐，能夠?qū)⒖諝鈴乃鏊幰菏占{袋排出至所述排出罐；

第1送出泵，其插入于所述第1止回閥與所述原液收納部之間的所述第1管路上，經(jīng)由該第1管路而將藥液從所述原液收納部送出至所述藥液收納袋；

第2送出泵，其插入于所述第2止回閥與所述純水收納部之間的所述第2管路上，經(jīng)由該第2管路而將純水從所述純水收納部送出至所述藥液收納袋；以及

第3送出泵，其插入于所述第3止回閥與所述排出罐之間的所述第3管路上，經(jīng)由該第3管路而將空氣從所述藥液收納袋排出至所述排出罐。