[發明專利]一種反射棱鏡裝置

有效

• 申請號: 201611089549.8
• 申請日: 2016-11-30
• 公開（公告）號: CN108121047B
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 姜蘇倫;汪明天;劉國淦
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G02B7/18
• 分類號: G02B7/18
• 代理公司: 31237 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 屈蘅;李時云

本發明提供了一種反射棱鏡裝置及用于固定反射棱鏡的方法，反射棱鏡裝置包括：棱鏡本體，所述棱鏡本體的兩側面均設有一凸臺；棱鏡固定座，包括棱鏡背面固定平面和棱鏡側邊固定組件，所述棱鏡背面固定平面與棱鏡本體背面粘貼固定，所述棱鏡側邊固定組件設置在所述棱鏡背面固定平面的兩側并用于將所述凸臺固定在所述棱鏡固定座上；其中所述棱鏡側邊固定組件包括用于承載凸臺的臺階和凸臺壓緊件，所述凸臺壓緊件用于將所述凸臺壓緊固定在所述臺階上。本發明的反射棱鏡裝置在重力方向由簧片的變形來吸收反射棱鏡變形產生的力，在水平方向采用膠結來吸收反射棱鏡膨脹或收縮時產生的應力，從而實現反射棱鏡的無應力固定，有效控制了棱鏡面型。

技術領域

本發明涉及光學儀器領域，尤其涉及一種反射棱鏡裝置。

背景技術

高精度光學鏡頭的設計與制造是一個十分復雜的過程，由于對光學系統成像質量要求越來越高，光學元件越來越多，光路也變得越來越復雜，而且要求光學元件有微米級的定位精度，同時還需要保持十納米級的面型精度。

在折反光學系統中，由于光線偏轉誤差是反射面偏轉的兩倍，反射棱鏡往往需要更高的定位精度和面型精度要求(十納米級面型精度)，這就要求固定結構對反射棱鏡的面型影響非常小，現有的高精度棱鏡固定方式多是直接采用棱鏡粘接到高精度機械面的方法，但當棱鏡尺寸和重量較大(重量大于0.5kg)時，以這種方式固定的棱鏡在沖擊、振動、溫度變化等作用下，反射棱鏡面型將發生較大變化，甚至發生棱鏡脫落的現象；若采用直接在工作面夾持的方法往往只能得到亞微米級，甚至微米級的面型精度。

因此，需要一種能夠滿足大尺寸反射棱鏡的無應力固定要求的反射棱鏡裝置。

需要說明的是，公開于該發明背景技術部分的信息僅僅旨在加深對本發明的一般背景技術的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域技術人員所公知的現有技術。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明提供一種棱鏡裝置及用于固定棱鏡的方法，能夠減少重力對棱鏡本體產生的應力，從而提高棱鏡本體穩定性。

為了達到上述目的，在本申請的一個方面，提供一種反射棱鏡裝置，包括：

棱鏡本體，所述棱鏡本體的兩側面均設有一凸臺；

棱鏡固定座，包括棱鏡背面固定平面和棱鏡側邊固定組件，所述棱鏡背面固定平面與棱鏡本體背面粘貼固定，所述棱鏡側邊固定組件設置在所述棱鏡背面固定平面的兩側并用于將所述凸臺固定在所述棱鏡固定座上；

其中所述棱鏡側邊固定組件包括用于承載凸臺的臺階和凸臺壓緊件，所述凸臺壓緊件用于將所述凸臺壓緊固定在所述臺階上。

在一些實施例中，所述凸臺的形狀為長條形。

在一些實施例中，所述用于承載凸臺的臺階的形狀與所述凸臺相匹配。

在一些實施例中，所述棱鏡背面固定平面設置有硬點平面，通過所述硬點平面與所述棱鏡本體背面接觸定位。

在一些實施例中，所述棱鏡本體背面通過點膠固定的方式固定至所述棱鏡背面固定平面。

在一些實施例中，所述硬點平面的數量為三個。

在一些實施例中，所述臺階還設置有硬點和彈簧安裝孔，所述彈簧安裝孔內安裝有彈簧，以通過所述硬點和彈簧來支撐所述凸臺。

在一些實施例中，所述棱鏡固定座一側的臺階上設置有兩個硬點和一個彈簧安裝孔，而另一側的臺階上設置有一個硬點和兩個彈簧安裝孔。

在一些實施例中，所述棱鏡固定座一側的臺階上設置的一個彈簧安裝孔設于兩個硬點之間，而另一側的臺階上設置的一個硬點設于兩個彈簧安裝孔之間。