[發(fā)明專利]執(zhí)行化學(xué)機械研磨制程的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611080096.2
• 申請日: 2016-11-30
• 公開（公告）號: CN106816374A
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃書豪;曾鴻輝;楊棋銘;黃正吉
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L21/321
• 分類號: H01L21/321
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國

1.一種執(zhí)行化學(xué)機械研磨制程的方法，其特征在于，包含：

形成具有一第一酸堿值的一化學(xué)機械研磨液；

確定該化學(xué)機械研磨液的一目標(biāo)酸堿值；以及

提供一螯合劑至該化學(xué)機械研磨液，其中該螯合劑配置于鍵結(jié)金屬性離子，以將該化學(xué)機械研磨液的一酸堿值自該第一酸堿值調(diào)整至該目標(biāo)酸堿值。