[發明專利]一種等離子體聚合涂層裝置

有效

• 申請號: 201611076904.8
• 申請日: 2016-11-30
• 公開（公告）號: CN106622824B
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 宗堅
• 申請（專利權）人: 江蘇菲沃泰納米科技有限公司
• 主分類號: B05B16/00
• 分類號: B05B16/00;B05B5/053;B05B12/12;B05D1/00;B05D3/14
• 代理公司: 北京邦創至誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11717
• 代理人: 吳強

1.一種等離子體聚合涂層裝置，包括真空室，其特征在于：所述真空室（1）側部的室體內壁任一橫截面為相同直徑的圓或相同邊長的正多邊形，所述正多邊形邊數至少為6邊；

所述真空室（1）內靠近真空室（1）的內壁處安裝有多孔電極（2），所述多孔電極（2）為與真空室內壁保持間距的多孔弧面結構，所述多孔電極與高頻電源（3）連接，所述多孔電極用于涂層前清洗基材表面的有機物雜質，或活化有機的基材，在基材表面形成懸掛鍵，利于涂層的沉積，增強基材與涂層的結合力，多孔電極在涂層過程中不工作；

所述真空室外壁上密封安裝有至少兩個放電腔（4）；

所述放電腔與真空室內壁連接處設置有至少兩層金屬柵網（5），所述金屬柵網與真空室內壁絕緣，金屬柵網與脈沖電源（6）連接，所述放電腔（4）內設有放電源（7），放電源連接供電源（8），所述放電腔連接有載體氣體管路（9），載體氣體管路另一端連接到載體氣體源，單體蒸汽管路（10）連接到真空室內，且其出口位于放電腔（4）前方，單體蒸汽管路另一端連接到單體蒸汽源；

所述真空室內的中心軸上豎直安裝有尾氣收集管（11），尾氣收集管一端伸出真空室后與真空泵連接，所述尾氣收集管的管壁上開孔；單體蒸汽在各放電腔附近受等離子體作用產生聚合反應活性物種，聚合反應活性物種在載體氣體帶動下沿徑向向真空室軸線方向輸運；

所述真空室內設置有旋轉置物架（12），所述旋轉置物架的旋轉軸與真空室的中心軸同軸，旋轉置物架上放置待處理基材。

2.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述真空室（1）的頂蓋和底蓋為與真空室的側部室體內壁橫截面匹配的平板或拱形結構。

3.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述多孔電極（2）形狀為圓柱筒形狀或至少分成兩段圓柱弧面形狀，且所述多孔電極與真空室同軸，與真空室的內壁間距為1-6cm，所述多孔電極（2）上布滿通孔，孔徑為2-30mm，孔間隔為2-30mm；所述與多孔電極連接的高頻電源（3）的功率是15-1000W。

4.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述放電腔（4）為圓筒形，材質是鋁、碳鋼或不銹鋼，直徑為5-20cm，深度為3-15cm，相鄰放電腔（4）軸線之間的間距為7-40cm；所述單體蒸汽管路（10）出口與放電腔（4）之間的距離為1-10cm。

5.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述金屬柵網（5）層數為2-6層，材質是不銹鋼或鎳，網孔大小為100-1000目，透過率為25%-40%。

6.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述脈沖電源（6）輸出正脈沖，其參數為：峰值20-140V、脈寬2μs-1ms、重復頻率20Hz-10kHz。

7.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述放電源（7）是燈絲或電極或感應線圈或微波天線，且其放電功率為2-500W。

8.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述尾氣收集管（11）內徑為25-100mm，其管壁上均勻開孔，孔徑為2-30mm，孔間隔為2-100mm。

9.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述旋轉置物架的旋轉軸與真空室的中心軸同軸，所述旋轉置物架可繞旋轉軸轉動，所述旋轉置物架上對稱固定設置2-8層置物臺，所述置物臺上放置待處理的基材。

10.根據權利要求1所述的一種等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述旋轉置物架（12）的旋轉軸與真空室的中心軸同軸，所述旋轉置物架可隨旋轉軸轉動，所述旋轉置物架上對稱設置2-8根行星旋轉軸（13），所述行星旋轉軸垂直于所述旋轉置物架（12）并可自轉；

所述行星旋轉軸上設置2-8層旋轉置物臺（14），所述旋轉置物臺放置待處理的基材（15）。