[發明專利]一種基于自生長電鍍的實心微針制備方法有效
| 申請號： | 201611067203.8 | 申請日： | 2016-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN106621021B | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發明（設計）人： | 閆肖肖;唐剛;徐斌;鄧小珍;李志彪;文紅民 | 申請（專利權）人： | 南昌工程學院 |
| 主分類號： | A61M37/00 | 分類號： | A61M37/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知識產權代理事務所 36122 | 代理人： | 夏材祥 |
| 地址： | 330096 *** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 生長 電鍍 實心 制備 方法 | ||
一種基于自生長電鍍的實心微針制備方法，其制備方法采用涂膠、光刻、電鍍等微加工工藝制備。首先硅晶圓片上濺射電鍍種子層，然后旋涂光刻膠，接著光刻以顯影出自生長電鍍微針的微方塊及針尖塊，然后去除光刻膠及不需要的種子層，最后通過電鍍的方法使得微方塊及針尖塊連接為一體形成所需微針。整個制備工藝簡單，制備的微針可根據微方塊大小及間距調整，適應性廣。
技術領域
本發明涉及的是一種生物醫學領域的裝置，尤其涉及的是一種基于自生長電鍍的實心微針制備方法。
背景技術
近年來，經皮給藥技術作為一種新型的藥物經皮給藥方式日益引起人們的重視，特別是以微針作為藥物載體的經皮給藥方式最實用。目前研制的微針多是由微機械加工方法制備，但其制備工藝需要多道微加工工藝，工藝復雜，制備周期長，成本較高。
經對現有技術文獻的檢索發現，
發明內容
本發明針對現有技術存在的上述不足，提供一種基于自生長電鍍的實心微針制備方法，制備得到具有尖銳針尖的實心微針，由此微針組成的微針陣列具有很好的強度及韌性，易于刺入皮膚；同時本制備過程簡單，制備周期短，成本低且便于普及。
本發明是通過以下技術方案實現的，首先硅晶圓片上濺射電鍍種子層，然后旋涂光刻膠，接著光刻以顯影出自生長電鍍微針的微方塊及針尖塊，然后去除光刻膠及不需要的種子層，最后通過電鍍的方法使得微方塊及針尖塊連接為一體形成所需微針。
本發明包括以下步驟：
第一步、硅片單面濺射鉻銅種子層；
第二步、將光刻膠旋涂于硅片的鉻銅種子層上；
第三步、用特定形狀的掩膜圖形化光刻膠，得到有間隔的電鍍微方塊及針尖塊；
所述的間隔是指相鄰兩個微方塊的邊緣間距從10~100um變化；
所述的特定形狀為方形、圓形或為梯形；
所述的針尖塊為尖銳的三角形塊或錐形塊；
第四步、電鍍，使得絕緣斷開的每個微方塊及針尖塊連接為一體，得到具有尖銳針尖的實心微針；
第五步、去掉硅基底及種子層微方塊，釋放得到尖銳的實心微針。
本發明采用簡單的光刻與電鍍結合制備實心微針，與現有技術相比，其優點在于：采用光刻與電鍍的方法制備實心微針，方法簡單，成本低；通過微方塊的間距及電鍍金屬的厚度，可有效控制微針的大小；通過末端的針尖快形貌形成尖銳的針尖，所得到的針尖極易刺入皮膚。
附圖說明
圖1為掩膜的形狀；
其中：a為方形微方塊掩膜，b為圓形微方塊掩膜，c為梯形微方塊掩膜；
圖2為本發明工藝流程圖；
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