[發明專利]導電體圖案檢查裝置

有效

• 申請號: 201611060604.0
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN107064706B
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 安田俊朗;村上真一
• 申請（專利權）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

1.一種導電體圖案檢查裝置，其中，具備：

檢查信號供應部，生成用于向以在電路基板上配置為列狀的方式形成的多個導電體圖案進行供電的交流的檢查信號；

供電電極部，與所述多個導電體圖案電容耦合，向每隔一列的導電體圖案供電所述檢查信號；

受電電極部，由第一傳感器電極以及第二傳感器電極構成，所述第一傳感器電極與供電了所述檢查信號的第一導電體圖案電容耦合，檢測所述檢查信號作為第一檢測信號，所述第二傳感器電極與沒有供電所述檢查信號的與所述第一導電體圖案鄰接的第二導電體圖案電容耦合，在該第二導電體圖案中流過所述檢查信號時，檢測其作為第二檢測信號；

檢測信號處理部，算出將所述第一檢測信號和所述第二檢測信號相加后的和信號、和從所述第一檢測信號減去了所述第二檢測信號的差信號，將所述差信號除以所述和信號，在存在短路的缺陷時，生成為0值的判定用信號；以及

缺陷判定部，將所述判定用信號與預先設定的閾值進行比較，判定有無缺陷。

2.如權利要求1所述的導電體圖案檢查裝置，其中，

從將所述第一檢測信號和所述第二檢測信號相加后的和信號，減去與該和信號重疊的共模噪聲。

3.如權利要求1所述的導電體圖案檢查裝置，其中，具備：

移動機構控制部，在檢查時將所述電路基板沿著所述多個導電體圖案的延伸方向輸送。

4.如權利要求1所述的導電體圖案檢查裝置，其特征在于，

所述多個導電體圖案中，所述第一導電體圖案被形成為梳形狀，作為梳齒部其各一端側由第一短路棒部短路連接，

所述第二導電體圖案被形成為梳形狀，作為梳齒部其所述第一短路棒部的相反側的各另一端側由第二短路棒部短路連接，

配置為所述第一短路棒部以及所述第二短路棒部都位于外側，將所述梳齒部交替地空開等間隔而咬合從而成對，

進而，在所述第一短路棒部上配置所述供電電極部。