[發明專利]微機電器件的制造方法、微機電器件及微機電器件基底結構在審
| 申請號： | 201611052329.8 | 申請日： | 2016-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN106379858A | 公開（公告）日： | 2017-02-08 |
| 發明（設計）人： | 宋焱;韓冬;馬清杰 | 申請（專利權）人： | 蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙)32256 | 代理人： | 王鋒 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工業園區*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 器件 制造 方法 基底 結構 | ||
【說明書】：
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