[發(fā)明專利]可保持氣密性的載片裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611052257.7
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN108109947B
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 符平平;張懷東
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：包括基座(1)、密封罩(2)、片盒門(9)、傳動桿(5)、片盒門連桿(11)及片盒門鎖緊機構(gòu)，其中密封罩(2)設(shè)置于基座(1)上，形成結(jié)構(gòu)主體，所述基座(1)上設(shè)有開口，所述片盒門(9)通過片盒門連桿(11)可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于該開口處，用于所述結(jié)構(gòu)主體的密封，所述片盒門連桿(11)的兩端分別連接有位于所述基座(1)兩側(cè)的兩個傳動桿(5)，所述片盒門鎖緊機構(gòu)設(shè)置于所述基座(1)上、用于片盒門(9)處于關(guān)閉狀態(tài)時鎖緊兩個傳動桿(5)；

所述片盒門鎖緊機構(gòu)包括扳動手柄(3)、手柄傳動軸(6)及兩個壓桿(8)，其中手柄傳動軸(6)可轉(zhuǎn)動地安裝在所述基座(1)的外側(cè)、且與兩個壓桿(8)的一端連接，兩個壓桿(8)的另一端用于鎖緊所述傳動桿(5)，所述扳動手柄(3)與手柄傳動軸(6)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：兩個所述壓桿(8)與手柄傳動軸(6)垂直、且壓桿8的長度可調(diào)，所述壓桿(8)的端部設(shè)有凸起，所述傳動桿(5)上設(shè)有卡槽，所述壓桿(8)通過凸起與所述傳動桿(5)上的卡槽卡接，實現(xiàn)傳動桿(5)的鎖緊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：所述傳動桿(5)的端部沿軸向設(shè)有與所述卡槽連通的滑槽，所述壓桿(8)旋轉(zhuǎn)，其端部的凸起通過所述滑槽滑入所述卡槽內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：所述扳動手柄(3)與手柄傳動軸(6)的中間位置連接、其與手柄傳動軸(6)垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：所述載片裝置進(jìn)一步包括手柄鎖緊機構(gòu)，所述手柄鎖緊機構(gòu)用于所述壓桿(8)鎖緊所述傳動桿(5)時，對所述扳動手柄(3)進(jìn)行鎖緊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：所述手柄鎖緊機構(gòu)包括固定座和鎖桿(4)，其中固定座設(shè)置于所述密封罩(2)上，所述鎖桿(4)設(shè)置于固定座上，用于對所述扳動手柄(3)進(jìn)行鎖緊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：所述鎖桿(4)為可伸縮桿。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：兩個所述傳動桿(5)的端部通過傳動桿密封軸(10)與所述基座(1)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可保持氣密性的載片裝置，其特征在于：所述基座(1)和密封罩(2)之間設(shè)有密封墊。