[發明專利]氣體管路的加熱裝置及半導體加工設備

在審

• 申請號: 201611025301.5
• 申請日: 2016-11-16
• 公開（公告）號: CN108072171A
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 琚里
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F24H3/00
• 分類號: F24H3/00;F24H9/18;F24H9/00;F24H9/20;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種氣體管路的加熱裝置，所述氣體管路包括相互嵌套的外管和內管，二者之間具有環形間隙，其特征在于，所述加熱裝置包括發熱元件、電引入組件和電源，其中，

所述發熱元件均勻纏繞在所述內管的外壁上，用以加熱所述內管中的氣體；

所述電引入組件設置在所述外管和內管的氣體輸入端，用以將所述環形間隙與外界真空隔離，并將所述發熱元件的正/負極與所述電源電連接。

2.根據權利要求1所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，所述電引入組件包括第一法蘭、兩個電連接件和兩個密封圈，其中，在所述外管和內管的氣體輸入端設置有第二法蘭，所述第二法蘭與所述第一法蘭對接，且通過多個螺栓連接；

所述兩個電連接件的內端依次貫穿所述第一法蘭和第二法蘭，并分別與所述發熱元件的正極和負極電連接；所述兩個電連接件的外端延伸至外界，并與所述電源電連接；

每個所述密封圈設置在所述電連接件和第一法蘭之間；或者，每個所述密封圈設置在所述電連接件和第二法蘭之間；或者，每個所述密封圈設置在所述電連接件與第二法蘭之間，以及所述電連接件與第一法蘭之間。

3.根據權利要求1所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，所述電引入組件包括法蘭、兩個電連接件和兩個密封圈，其中，

所述法蘭同時與所述外管和內管的氣體輸入端密封連接；

所述兩個電連接件的內端貫穿所述法蘭，并分別與所述發熱元件的正極和負極電連接；所述兩個電連接件的外端延伸至外界，并與所述電源電連接；

每個所述密封圈設置在所述電連接件和法蘭之間。

4.根據權利要求3所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，所述法蘭采用焊接的方式與所述外管和內管的輸入端密封連接。

5.根據權利要求1所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，所述發熱元件包括電伴熱帶或者電阻絲。

6.根據權利要求5所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，在所述發熱元件的外表面包覆有保護層，用于提高所述發熱元件的耐高溫性能。

7.根據權利要求6所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，所述保護層包括玻璃棉或者礦物棉。

8.根據權利要求1所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，所述加熱裝置還包括溫度控制單元，用于控制向所述發熱元件輸出的加熱功率。

9.根據權利要求1所述的氣體管路的加熱裝置，其特征在于，在所述外管的外側設置有壓力表，用以檢測所述環形間隙中的氣壓。

10.一種半導體加工設備，包括反應腔室、氣體管路和加熱裝置，其中，所述氣體管路包括相互嵌套的外管和內管，二者之間具有環形間隙，并且所述內管用于向所述反應腔室內輸送工藝氣體；所述加熱裝置用于對所述內管中的工藝氣體進行加熱，其特征在于，所述加熱裝置采用權利要求1-9任意一項所述的加熱裝置。