[發(fā)明專利]基于傳輸反射法的薄膜材料復(fù)介電常數(shù)的測量裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611025062.3 | 申請日: | 2016-11-22 |
| 公開(公告)號: | CN106556748B | 公開(公告)日: | 2019-06-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊燚;王強;張豹山;唐東明 | 申請(專利權(quán))人: | 南京大學(xué) |
| 主分類號: | G01R27/26 | 分類號: | G01R27/26 |
| 代理公司: | 南京知識律師事務(wù)所 32207 | 代理人: | 李媛媛 |
| 地址: | 210093 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基于 傳輸 反射 薄膜 材料 介電常數(shù) 測量 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書】:
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