[發(fā)明專利]一種硅切片防粘片方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611021094.6 | 申請日： | 2016-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN107053503B | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 郭東興;張勇;閆紅超;顏玉峰;王輝;趙飛 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧晉松宮電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;B28D7/00;C10M169/04;C10N30/04 |
| 代理公司： | 河北東尚律師事務(wù)所 13124 | 代理人： | 王文慶 |
| 地址： | 055550 河北*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 配置 防粘片 分散劑 切片 切割 切割晶片 制作工藝 電荷 砂漿 切削液 切削 硅棒 硅粉 厚片 滑移 配膠 配重 粘棒 粘片 黏砂 生產(chǎn)工藝 剔除 預(yù)留 保證 | ||
本發(fā)明提供了一種硅切片防粘片方法，屬于硅片制作工藝領(lǐng)域，依次進(jìn)行，配膠、粘棒、配置分散劑、配置砂漿、配置防黏砂漿液、切割晶片和除去膠體步驟，通過配置可以剔除電荷的分散劑保證了整體切削液的粘性，使得切削硅片過程中不會出現(xiàn)粘片事故的發(fā)生，通過在切割完畢后在硅棒兩端各預(yù)留一個厚片，保證切割完畢的硅片的兩端都具有一個配重，避免因為沾黏的硅粉而產(chǎn)生發(fā)脹而產(chǎn)生硅片滑移，提高了整體生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于硅晶單元制作領(lǐng)域，尤其涉及一種防止硅晶棒切片過程中出現(xiàn)粘片的方法。
背景技術(shù)
我國東部地區(qū)，屬季風(fēng)氣候，北方地區(qū)每年6-9月份，南方地區(qū)的5-7月份，由于天氣變化空氣濕度較大，造成回收砂漿在使用過程中，砂漿中的懸浮液水分增加，隨著回收次數(shù)增加，水分含量不斷增加。由于切割產(chǎn)生的硅粉表面是帶有一定電荷的，在水分存在的環(huán)境里，使砂漿中切割產(chǎn)生的硅粉顆粒發(fā)生靜電吸附作用，硅粉產(chǎn)生締合現(xiàn)象，并且會包裹部分碳化硅顆粒，使得砂漿的流變性能發(fā)生改變，即表觀現(xiàn)象就是砂漿發(fā)黏。同時切割過程中，硅粉濃度越來越高，砂漿中水分的作用，也會使得硅粉在硅片上發(fā)生靜電吸附，造成在硅片上的粘度，從而使得切出來的硅片發(fā)生黏片，發(fā)脹。
產(chǎn)生砂漿發(fā)粘后，在切片過程中硅片就會靠近切割線，產(chǎn)生粘片、劃痕事故，粘片事故發(fā)生后，整刀硅片全部報廢，會造成極大的人力物力浪費，現(xiàn)有技術(shù)中尚未提供有效的防止粘片的技術(shù)手段。
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的，本發(fā)明針對上述現(xiàn)有硅片切割技術(shù)，會隨著季節(jié)性周期性出現(xiàn)粘片情況，而提供了一種防止硅晶棒切片過程中出現(xiàn)粘片的方法，其具有增加流體流動性，中和電荷，防黏片的特點。
本發(fā)明所要解決的問題是由以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：
提供了一種硅切片防粘片方法，其包括以下步驟：
①配膠，將雙份膠體進(jìn)行融合并放熱，放熱時常為20min；
②粘棒，分別使用清水和丙酮對硅棒表面進(jìn)行擦拭，使用步驟①中的膠體將棒料粘結(jié)在已經(jīng)清洗完畢的玻璃片上，并將玻璃片固定在切割機(jī)的晶托上；
③配置砂漿分散劑，按照重量將1％潤濕滲透劑、20％～30％分散劑、0.5％觸變劑、余量為溶劑，配比砂漿分散劑；
④配置砂漿，快速將微粉防止入80—90度烘箱里，烘烤8小時以上，烘烤完成后，快速將微粉取出并快速配置砂漿液，配置完成后進(jìn)行攪拌，砂漿液攪拌時長不低于8h；砂漿液由碳化硅和懸浮液(聚乙二醇)配比成。
⑤配置防黏砂漿液，將砂漿分散劑與砂漿液按照1：100的比例進(jìn)行攪拌配置，將配置完畢的防黏砂漿液加入切割機(jī)的砂漿缸中；
⑥切割晶片，操作切割機(jī)將晶棒自動切割成硅晶片。
⑦去除膠體，將步驟⑥切割完畢的硅晶片置入脫膠液中進(jìn)行脫膠，脫膠完畢后將所有膠體去除，去除完畢后一邊排放脫膠液一邊置入清水，保證液面于硅片上表面；
⑧清洗硅片，將硅片置入清洗機(jī)中進(jìn)行清洗，清洗完畢后烘干取出。
進(jìn)一步的，在步驟⑥過程中，啟動切割機(jī)之前需要按照預(yù)設(shè)值調(diào)整排線總寬度，硅棒長度大于排線總寬度，切割完畢后在硅棒的兩端各預(yù)留有一個厚度為3mm的厚片。
進(jìn)一步的，啟動切割機(jī)的空調(diào)溫度預(yù)設(shè)溫度為10度-13度。
進(jìn)一步的，所述的潤濕滲透劑為有機(jī)硅改性聚氧乙烯醚/氟碳類表面活性劑或者所述的潤濕滲透劑為由按重量1:1進(jìn)行配比的有機(jī)硅改性聚氧乙烯醚和氟碳類表面活性劑組成。
進(jìn)一步的，所述的分散劑由任意比的聚乙二醇、丙二醇嵌段聚醚和脂肪醇聚氧乙烯醚組成。
進(jìn)一步的，所述的觸變劑由任意比的羧甲基纖維素和聚乙烯醇組成。
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