[發明專利]容器輸送設備

有效

• 申請號: 201611011954.8
• 申請日: 2016-11-17
• 公開（公告）號: CN106915609B
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 小川大介;巖永明大;高田文人
• 申請（專利權）人: 株式會社大福
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G47/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;劉林華

在將具備形成有氣體能夠在外部與內部之間流通的流通孔的流通孔形成部的容器輸送的輸送裝置中，設有具有氣體流通自如的流通路的連接部、和使填充用氣體流通到流通路中的填充用氣體供給源。連接部構成為，向避讓到在輸送路徑中移動的容器的移動區域的外部的非連接狀態、和侵入到移動區域的內部而與容器的流通孔形成部連接的連接狀態切換自如。

技術領域

本發明涉及一種容器輸送設備，具備：第1裝置，具備收納物品的容器被運出的運出部；第2裝置，具備前述容器被運入的運入部；輸送裝置，將前述容器沿著輸送路徑從前述第1裝置輸送到前述第2裝置；供給裝置，將調整前述容器的內部的環境的調整用氣體向前述容器的內部供給。

背景技術

作為上述第1裝置或第2裝置的例子，在特開2015－012042號公報（專利文獻1）中，記載有保管收納半導體基板的容器的保管擱架。專利文獻1的保管擱架具備多個容納容器的容納部，并且具備對保管的容器供給用來防止半導體基板的氧化或污損的氮氣作為填充用氣體的供給裝置。

專利文獻1那樣的保管擱架被設置在半導體制造設備中。可是，在半導體制造設備中，第1裝置和第2裝置不一定總是接近設置，有需要在設置在離開的位置處的第1裝置與第2裝置之間輸送容器的情況。另外，作為第1裝置和第2裝置被設置在離開的位置處的情況，例如如特開2013－245032號公報（專利文獻2）所示，可以考慮存在多個半導體制造設備的作業區、設置有第1裝置的作業區和設置有第2裝置的作業區是不同的作業區的情況。在專利文獻2中，作為如上述那樣跨越不同的作業區輸送容器的輸送裝置，使用頂棚輸送車、或將輸送對象物載置在被載置部上并使該被載置部沿著輸送路徑移動的輸送機。

但是，在專利文獻2所示那樣的輸送裝置中，在跨越多個裝置輸送容器的期間中，不能對容器進行氮氣的填充。因此，如果在輸送裝置中的輸送中需要的時間較長，則容器內的惰性氣體的濃度有可能下降，有難以將容器的內部維持為適合于半導體基板的品質維持的環境的問題。

發明內容

所以，希望有即使第1裝置與第2裝置之間的輸送時間較長、也容易將容器的內部維持為適合于收納物品的品質維持的環境的容器輸送設備。

有關本公開的容器輸送設備具備：第1裝置，具備收納物品的容器被運出的運出部；第2裝置，具備前述容器被運入的運入部；輸送裝置，將前述容器沿著輸送路徑從前述第1裝置輸送到前述第2裝置；及供給裝置，將向前述容器的內部填充的填充用氣體向前述容器的內部供給。

前述容器具備形成有氣體能夠在該容器的外部與內部之間流通的流通孔的流通孔形成部。

前述供給裝置具備具有氣體流通自如的流通路的連接部、和使前述填充用氣體向前述流通路流通的填充用氣體供給源。

前述連接部構成為，向避讓到在前述輸送路徑中移動的容器的移動區域的外部的非連接狀態、和侵入到前述移動區域的內部來與前述容器的流通孔形成部連接的連接狀態切換自如。

根據該結構，通過將連接部從非連接狀態切換為連接狀態，能夠使避讓到由輸送裝置輸送的容器的移動區域的外部的連接部進入到移動區域的內部，成為連接部連接在容器的流通孔形成部上的狀態。由此，能夠在從第1裝置朝向第2裝置輸送容器的途中將填充用氣體向容器的內部供給。

因而，即使第1裝置與第2裝置之間的輸送時間較長，也能夠將容器的內部維持為適合于收納物品的品質維持的環境。

有關本公開的技術的進一步的特征和優點，通過參照附圖記述的以下的例示性且非限定性的實施方式的說明會變得更明確。

附圖說明

圖1是具備容器輸送設備的半導體制造設備的概略俯視圖。

圖2是表示容器輸送設備的結構的側視圖。

圖3是半導體輸送容器的部分剖開主視圖。