[發明專利]一種晶圓測試系統

在審

• 申請號: 201611009771.2
• 申請日: 2016-11-16
• 公開（公告）號: CN106771959A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 王玉龍;張志勇;祁建華;方華;牛勇
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

技術領域

本發明涉及半導體領域，尤其涉及一種晶圓測試系統。

背景技術

集成電路在晶圓測試時，工作站、測試機和探針臺是一個整體，工作站、測試機和探針臺之間需要接收對方發來的指令并且還需發送指令給對方，它們之間需要通過各自的連線達到通訊的目的，工作站和測試機之間需要通過PCI接口相互連接，工作站和探針臺之間需要通過GPIO接口相互連接，它們都是通過實體的線在兩者之間連接，實體線必然會受到線本身長度的影響，太短可能無法接上相應的接口，太長又容易被外力影響導致松動等問題，并且需要考慮生產車間的實際布局需求。

現有技術一：工作站和測試機通過PCI接口連接

參考圖1，工作站全程控制測試程序的運作，測試機進行測試并且返還給工作站檢測的結果，所以它們之間需要通訊。測試機上都有一塊專門的硬件板是負責通訊的，上面有PCI接口，通過實體線連接到工作站上，達到兩者之間的通訊。一旦在測試工程中這個線脫落了或損壞了，操作人員很難發現問題，造成測試時間的浪費，并且線的長度決定了兩者的空間布局。

現有技術二：工作站和探針臺通過GPIO接口連接

繼續參考圖1，工作站需要控制探針臺的移動，并且探針臺也需要告訴工作站測試的芯片坐標，來完成數據，所以它們之間需要通過GPIB線來達到通訊的目的。GPIB線不宜過長，不宜彎曲，否則會導致通訊不上的問題，一旦損壞，更換比較麻煩，因為探針臺的GPIB接口是比較隱蔽的。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提供了一種晶圓測試系統，節省空間和降低了布線難度。

一種晶圓測試系統，包括：探針臺，用于得到當前位置坐標，并將測試結果進行顯示；工作站，用于將所述當前位置坐標和開始測試指令發送給測試機，并接收測試機的測試結果；測試機，用于根據當前位置坐標開始測試；探針臺接收器，用于接收測試結果；探針臺發送器，用于向工作站發送位置坐標；工作站接收器，用于接收探針臺的位置坐標和測試機的測試結果；工作站發送器，用于向測試機發送位置坐標，向測試機發送測試開始指令以及向探針臺發送測試結果；測試機發送器，用于向工作站發送測試結果；測試機接收器，用于接收位置坐標和測試開始指令。

本發明的與現有技術相比，優點在于：

本發明通過在工作站、測試機和探針臺上各安裝一個無線接收器和無線發送器來達到無線通訊的目的，就可以避免實體線所帶來的不便，并且方便生產車間的布局，達到節省空間和降低布線難度的目的。

附圖說明

本發明的下列附圖在此作為本發明的一部分用于理解本發明。附圖中示出了本發明的實施例及其描述，用來解釋本發明的原理。

圖1為現有技術的工作站、測試機和探針臺的連接方式；

圖2為本發明的晶圓測試系統通過用無線接收器和無線發送器替換實體線的示意圖；

圖3為本發明的晶圓測試系統各設備之間的交互關系。

具體實施方式

在下文的描述中，給出了大量具體的細節以便提供對本發明更為徹底的理解。然而，對于本領域技術人員而言顯而易見的是，本發明可以無需一個或多個這些細節而得以實施。在其他的例子中，為了避免與本發明發生混淆，對于本領域公知的一些技術特征未進行描述。

應當理解的是，本發明能夠以不同形式實施，而不應當解釋為局限于這里提出的實施例。相反地，提供這些實施例將使公開徹底和完全，并且將本發明的范圍完全地傳遞給本領域技術人員。在附圖中，為了清楚，層和區的尺寸以及相對尺寸可能被夸大。自始至終相同附圖標記表示相同的元件。

集成電路在晶圓測試時，工作站、測試機和探針臺是一個整體，工作站、測試機和探針臺之間需要接收對方發來的指令并且還需發送指令給對方，它們之間需要通過各自的連線達到通訊的目的，工作站和測試機之間需要通過PCI接口相互連接，工作站和探針臺之間需要通過GPIO接口相互連接，它們都是通過實體的線在兩者之間連接，實體線必然會受到線本身長度的影響，太短可能無法接上相應的接口，太長又容易被外力影響導致松動等問題，并且需要考慮生產車間的實際布局需求。