[發明專利]多重反射型單元、分析裝置、排氣分析裝置和光的射入方法

在審

• 申請號: 201611005510.3
• 申請日: 2016-11-11
• 公開（公告）號: CN107024442A
• 公開（公告）日: 2017-08-08
• 發明（設計）人: 赤松武
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 主分類號: G01N21/35
• 分類號: G01N21/35;G01N21/01
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司11290
• 代理人: 李雪春,王維玉

1.一種多重反射型單元，具有多重反射機構，所述多重反射機構在對射入的光進行多重反射后將所述光向外部射出，

所述多重反射型單元的特征在于，

所述多重反射機構具有：

場鏡；

第一物鏡，與所述場鏡相對，并且設置在所述多重反射機構的光的射入側；以及

第二物鏡，與所述場鏡相對，并且設置在所述多重反射機構的光的射出側，

射入所述多重反射機構的光最初被所述第二物鏡反射。

2.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，所述第一物鏡和所述第二物鏡配置成相對于包含所述場鏡的光軸的對稱面對稱。

3.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，

所述第一物鏡的曲率中心設定在所述場鏡的所述多重反射機構的光的射出側，

所述第二物鏡的曲率中心設定在所述場鏡的所述多重反射機構的光的射入側。

4.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，所述場鏡包括光從所述多重反射機構的外部射入的光射入口和光從所述多重反射機構向外部射出的光射出口。

5.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，形成在所述場鏡的反射面上的多個反射點的配置間隔，與反射面的中心部相比越朝向外邊緣部越大。

6.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，形成在所述第一物鏡的反射面上的多個反射點的排列、以及形成在所述第二物鏡的反射面上的多個反射點的排列分別呈拋物線狀，各拋物線的頂點朝向所述多重反射機構的外側。

7.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，

所述多重反射型單元包括收容所述多重反射機構的單元主體，

在所述單元主體的所述場鏡側設置有使光從外部射入所述多重反射機構的射入窗和使光從所述多重反射機構向外部射出的射出窗，

所述射入窗的面板部與射入的光的光軸垂直，并且所述面板部朝向所述第二物鏡側，

所述射出窗的面板部與射入的光的光軸垂直，并且所述面板部朝向所述第一物鏡側。

8.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，

所述多重反射型單元包括收容所述多重反射機構的單元主體，

在所述單元主體的所述場鏡側設置有使光從外部射入所述多重反射機構的射入窗和使光從所述多重反射機構向外部射出的射出窗，

在所述射入窗和所述射出窗的表面上形成有防止反射膜。

9.根據權利要求1所述的多重反射型單元，其特征在于，最后被所述第一物鏡反射的光從所述多重反射機構向外部射出。

10.一種分析裝置，其特征在于，包括權利要求1至9中任意一項所述的多重反射型單元。

11.一種排氣分析裝置，其特征在于，

所述排氣分析裝置包括權利要求1至9中任意一項所述的多重反射型單元，

在所述場鏡和所述第一物鏡、所述第二物鏡之間存在排氣。

12.一種光的射入方法，向多重反射型單元射入光，所述多重反射型單元包括多重反射機構，所述多重反射機構對射入的光進行多重反射后將所述光向外部射出，

所述光的射入方法的特征在于，

所述多重反射機構具有：場鏡；第一物鏡，與所述場鏡相對，并且設置在所述多重反射機構的光的射入側；以及第二物鏡，與所述場鏡相對，并且設置在所述多重反射機構的光的射出側，

以射入所述多重反射機構的光最初被所述第二物鏡反射的方式，使光射入所述多重反射機構。