[發明專利]化學機械研磨裝置及其研磨方法在審
| 申請號： | 201610996724.5 | 申請日： | 2016-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN106514438A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 桂輝輝;周小紅;萬先進 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 研磨 裝置 及其 方法 | ||
【權利要求書】：
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