[發明專利]一種動態調整安全研磨時間限的方法有效
| 申請號： | 201610993680.0 | 申請日： | 2016-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN106312792B | 公開（公告）日： | 2018-06-26 |
| 發明（設計）人： | 吳科;同小剛;文靜;張傳民 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/005 | 分類號： | B24B37/005 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 反饋 動態調整 時間下限 安全 擋片 比例系數 公式計算 強度獲取 時間上限 監測 | ||
【權利要求書】：
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