[發明專利]采用母旋轉式滾珠花鍵的雙臂晶圓傳輸機器人旋轉機構

有效

• 申請號: 201610985244.9
• 申請日: 2016-11-09
• 公開（公告）號: CN106379730B
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 劉志峰;王冰;陶文秀;文俊武;張伯華;楊聰彬
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: B25J9/06
• 分類號: B25J9/06;B25J9/04;B25J9/08;B65G47/80
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 沈波

1.采用母旋轉式滾珠花鍵的雙臂晶圓傳輸機器人旋轉機構；其特征在于，機器人本體包括如下四個部分：底座機構(01)、升降機構(02)、旋轉機構(03)、手臂機構(04)，升降機構(02)安裝在底座機構(01)上，升降機構(02)通過旋轉機構(03)與手臂機構(04)連接；

底座機構(01)包括Z軸驅動伺服電機(01-01)、Z軸電機減速機(01-02)、Z軸驅動帶輪(01-03)、絲杠軸驅動帶輪(01-04)、絲杠軸(01-05)、T軸驅動伺服電機(01-06)、T軸電機減速機(01-07)、T軸驅動帶輪(01-08)、花鍵軸驅動帶輪(01-09)、花鍵軸(01-10)、導軌(01-11)、安裝底座(01-12)；

升降機構(02)包括升降臺(02-01)、滾珠絲杠螺母(02-02)、花鍵母(02-03)、花鍵母帶輪(02-04)、內外環一體型交叉滾珠軸環(02-05)、滑塊(02-06)；

旋轉機構(03)包括旋轉臺(03-01)、旋轉臺驅動帶輪(03-02)、圓柱導桿(03-03)、R軸電機固定架(03-04)、R軸驅動減速型伺服電機(03-05)、R軸驅動帶輪(03-06)、手臂驅動帶輪(03-07)、手臂驅動輸出軸(03-08)、手臂驅動輸出軸軸承(03-09)、薄壁筒(03-10)；

Z軸驅動伺服電機(01-01)經Z軸電機減速機(01-02)減速后，驅動Z軸驅動帶輪(01-03)，Z軸驅動帶輪(01-03)與絲杠軸驅動帶輪(01-04)通過同步帶連接，帶動絲杠軸(01-05)旋轉，絲杠軸(01-05)驅動滾珠絲杠螺母(02-02)實現Z向運動，由于滾珠絲杠螺母(02-02)與升降臺(02-01)固連，實現升降臺(02-01)的Z向運動；花鍵母(02-03)外圈與升降臺(02-01)固連，可隨升降臺(02-01)一同實現Z向運動；導軌(01-11)與安裝底座(01-12)固連，滑塊(02-06)與升降臺(02-01)固連，可用來輔助引導升降臺的Z向運動；

T軸驅動伺服電機(01-06)經T軸電機減速機(01-07)減速后，驅動T軸驅動帶輪(01-08)，T軸驅動帶輪(01-08)與花鍵軸驅動帶輪(01-09)通過同步帶連接，帶動花鍵軸(01-10)旋轉，花鍵軸(01-10)帶動花鍵母(02-03)旋轉，花鍵母帶輪(02-04)與花鍵母(02-03)內圈固連并隨花鍵軸(01-10)同步旋轉；花鍵母帶輪(02-04)通過同步帶與旋轉臺驅動帶輪(03-02)連接并通過兩個同步帶輪齒數比來實現減速，旋轉臺驅動帶輪(03-02)與旋轉臺(03-01)固連，實現旋轉臺(03-01)的旋轉運動；

內外環一體型交叉滾珠軸環(02-05)的外圈通過螺釘固定在升降臺(02-01)，旋轉臺(03-01)通過螺釘固定在內外環一體型交叉滾珠軸環(02-05)的內圈；圓柱導桿(03-03)下端通過螺釘將其與旋轉臺(03-01)固連，上端通過螺釘將其與R軸電機固定架(03-04)固連，R軸驅動減速型伺服電機(03-05)安裝在圓柱導桿(03-03)所包圍的空間內，并調整R軸驅動減速型伺服電機(03-05)的安裝角度避免安裝干涉，外部通過薄壁筒(03-10)進行保護；

R軸驅動減速型伺服電機(03-05)驅動R軸驅動帶輪(03-06)旋轉，R軸驅動帶輪(03-06)通過同步帶驅動手臂驅動帶輪(03-07)旋轉，手臂驅動帶輪(03-07)與手臂驅動輸出軸(03-08)固連，通過手臂驅動輸出軸軸承(03-09)的輔助固定，實現對手臂機構(04)的驅動。