[發(fā)明專利]一種基于CDSEM的特征識(shí)別方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610984604.3
• 申請(qǐng)日: 2016-11-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108062500B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柏聳;袁可方
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
• 主分類號(hào): G06K9/00
• 分類號(hào): G06K9/00;G06K9/62
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張振軍;吳敏

1.一種基于CDSEM的特征識(shí)別方法，其特征在于，包括：

通過(guò)CDSEM獲取訓(xùn)練襯底的CDSEM識(shí)別信息，所述訓(xùn)練襯底上設(shè)置有已知的特征，所述CDSEM識(shí)別信息包括CDSEM圖像及其相應(yīng)的CDSEM特征曲線；

根據(jù)所述訓(xùn)練襯底的CDSEM識(shí)別信息以及所述已知的特征對(duì)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練，以使得訓(xùn)練后的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)適于對(duì)待識(shí)別襯底進(jìn)行特征識(shí)別；

所述通過(guò)CDSEM獲取訓(xùn)練襯底的CDSEM識(shí)別信息包括：

通過(guò)CDSEM獲取采樣襯底中的所述已知的特征的所述CDSEM識(shí)別信息以作為注冊(cè)信息，所述采樣襯底是從多個(gè)包含相同的已知的特征的訓(xùn)練襯底中選取的；

通過(guò)CDSEM批量獲取所述多個(gè)包含相同已知的特征的訓(xùn)練襯底中與所述注冊(cè)信息對(duì)應(yīng)的CDSEM識(shí)別信息；

獲取所述CDSEM識(shí)別信息包括：以CDSEM的不同的測(cè)量模式分別獲取所述CDSEM識(shí)別信息，所述測(cè)量模式包括凸起測(cè)量模式和凹陷測(cè)量模式；

通過(guò)CDSEM批量獲取所述多個(gè)包含相同已知的特征的訓(xùn)練襯底中與所述注冊(cè)信息對(duì)應(yīng)的CDSEM識(shí)別信息包括：

以凸起測(cè)量模式和凹陷測(cè)量模式分別獲取所述多個(gè)包含相同已知的特征的訓(xùn)練襯底中與所述注冊(cè)信息對(duì)應(yīng)的CDSEM識(shí)別信息；

獲取所述CDSEM識(shí)別信息后，所述基于CDSEM的特征識(shí)別方法還包括：對(duì)以與所述已知的特征相符的測(cè)量模式獲取到的所述CDSEM識(shí)別信息添加正確的標(biāo)簽，以與所述已知的特征不符的測(cè)量模式獲取到的所述CDSEM識(shí)別信息添加錯(cuò)誤的標(biāo)簽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于CDSEM的特征識(shí)別方法，其特征在于，還包括：

通過(guò)CDSEM獲取待識(shí)別襯底的CDSEM識(shí)別信息；

根據(jù)所述待識(shí)別襯底的CDSEM識(shí)別信息和所述訓(xùn)練后的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)所述待識(shí)別襯底進(jìn)行特征識(shí)別。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于CDSEM的特征識(shí)別方法，其特征在于，所述特征包括：凸起和凹陷；所述對(duì)待識(shí)別的襯底進(jìn)行特征識(shí)別包括：確定待識(shí)別的特征為凸起或者凹陷。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于CDSEM的特征識(shí)別方法，其特征在于，根據(jù)所述CDSEM識(shí)別信息和所述已知的特征對(duì)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練包括：根據(jù)以不同測(cè)量模式獲取的所述CDSEM識(shí)別信息，以及對(duì)應(yīng)的標(biāo)簽訓(xùn)練所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，使得所述訓(xùn)練后的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)適于識(shí)別待識(shí)別特征，以選擇與所述待識(shí)別襯底上的待識(shí)別特征相匹配的測(cè)量模式對(duì)所述待識(shí)別特征進(jìn)行尺寸測(cè)量。

5.一種基于CDSEM的特征識(shí)別裝置，其特征在于，包括：

第一識(shí)別信息獲取單元，適于通過(guò)CDSEM獲取訓(xùn)練襯底的CDSEM識(shí)別信息，所述訓(xùn)練襯底上設(shè)置有已知的特征，所述CDSEM識(shí)別信息包括CDSEM圖像及其相應(yīng)的CDSEM特征曲線；

訓(xùn)練單元，適于根據(jù)所述訓(xùn)練襯底的CDSEM識(shí)別信息以及所述已知的特征對(duì)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練，以使得訓(xùn)練后的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)適于對(duì)待識(shí)別襯底進(jìn)行特征識(shí)別；

所述第一識(shí)別信息獲取單元包括：

注冊(cè)信息獲取單元，適于通過(guò)CDSEM獲取采樣襯底中的所述已知的特征的所述CDSEM識(shí)別信息以作為注冊(cè)信息，所述采樣襯底是從多個(gè)包含相同的已知的特征的訓(xùn)練襯底中選取的；

批量獲取單元，適于通過(guò)CDSEM批量獲取所述多個(gè)包含相同已知的特征的訓(xùn)練襯底中與所述注冊(cè)信息對(duì)應(yīng)的CDSEM識(shí)別信息；

獲取所述CDSEM識(shí)別信息包括：以CDSEM的不同的測(cè)量模式分別獲取所述CDSEM識(shí)別信息，所述測(cè)量模式包括凸起測(cè)量模式和凹陷測(cè)量模式；

所述批量獲取單元適于以凸起測(cè)量模式和凹陷測(cè)量模式分別獲取所述多個(gè)包含相同已知的特征的訓(xùn)練襯底中與所述注冊(cè)信息對(duì)應(yīng)的CDSEM識(shí)別信息；

所述基于CDSEM的特征識(shí)別裝置還包括：標(biāo)簽添加單元，適于對(duì)以與所述已知的特征相符的測(cè)量模式獲取到的所述CDSEM識(shí)別信息添加正確的標(biāo)簽，以與所述已知的特征不符的測(cè)量模式獲取到的所述CDSEM識(shí)別信息添加錯(cuò)誤的標(biāo)簽。