[發明專利]一種降低多晶硅晶錠頭部碳含量的排氣裝置有效
| 申請號： | 201610981663.5 | 申請日： | 2016-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN106435725B | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發明（設計）人： | 司榮進;陸繼波 | 申請（專利權）人： | 鎮江環太硅科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 陳麗君 |
| 地址： | 212200 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 降低 多晶 硅晶錠 頭部 含量 排氣裝置 | ||
【權利要求書】：
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