[發明專利]感測裝置

有效

• 申請號: 201610970688.5
• 申請日: 2016-11-04
• 公開（公告）號: CN108023573B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 楊思哲;林文琦;陳耿男
• 申請（專利權）人: 矽統科技股份有限公司
• 主分類號: H03H11/46
• 分類號: H03H11/46
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 姚垚;曹正建

一種感測裝置具有微機電傳感器、源極隨耦器與放大器；源極隨耦器具有第一輸出模塊；第一輸出模塊具有第一晶體管與第二晶體管，微機電傳感器用以產生輸入信號，第一晶體管的第一端用以接收第一參考電壓，第一晶體管的第二端電性連接第一輸出端，第一晶體管的控制端電性連接第一電流源，第二晶體管的第一端電性連接第一晶體管的第二端，第二晶體管的第二端電性連接第一晶體管的控制端，第二晶體管的控制端用以接收輸入信號，放大器的第一輸入端電性連接第一輸出端，放大器的第二輸入端用以接收共模電壓。本發明的感測裝置中的源極隨耦器輸出端所電性連接的放大器不需要使用太大的電阻，得以降低放大器的輸出信號的噪聲。

技術領域

本發明涉及一種感測裝置，尤其涉及一種具有微機電傳感器的感測裝置。

背景技術

微機電系統(Micro Electro Mechanical System，MEMS)是一種將微電子技術與機械工程融合的一種工業技術。微機電系統的大小一般在微米(micrometer，μm)到毫米(micrometer，mm)之間。微機電系統一般是由類似于生產半導體的技術制造而成。其中，包括更改的硅加工方法如壓延、電鍍、濕蝕刻、干蝕刻與電火花加工等等。

在微機電系統所處的尺寸范圍中，日常的物理經驗往往不再適用。舉例來說，由于微機電系統的面積對體積的比例比一般日常生活中的機械系統要小得多，其表面現象如靜電、潤濕等比體積現象如慣性或熱容量等來的更重要。換句話說，由于尺寸比例導致的物理特性，使得微機電系統的后端電路需要更重視其噪聲的影響。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于，針對現有技術的不足提供一種感測裝置，由此降低輸出信號中的噪聲。

本發明所要解決的技術問題是通過如下技術方案實現的：

本發明提供一種感測裝置，所述的感測裝置包括微機電傳感器、源極隨耦器與放大器；源極隨耦器包括第一輸出模塊；第一輸出模塊包括第一晶體管與第二晶體管，微機電傳感器用以依據環境變化產生輸入信號；第一晶體管的第一端用以接收第一參考電壓，第一晶體管的第二端電性連接第一輸出端，第一晶體管的控制端電性連接第一電流源，第二晶體管的第一端電性連接第一晶體管的第二端，第二晶體管的第二端電性連接第一晶體管的控制端，第二晶體管的控制端用以接收輸入信號，第二晶體管與第一晶體管同為P型晶體管或同為N型晶體管；放大器的第一輸入端電性連接第一輸出端，放大器的第二輸入端用以接收共模電壓，放大器的輸出端關聯于第一輸出端的電壓電平與共模電壓的差值。

更好地，該第一輸出模塊更包括一第一偏壓單元，其電性連接于該第二晶體管的控制端與一第二參考電壓之間。

更好地，該第一偏壓單元包括一第一二極管與一第二二極管，該第一二極管的陽極端與該第二二極管的陰極端電性連接該第二晶體管的控制端，該第一二極管的陰極端電性連接該第二二極管的陽極端，且該第一二極管的陰極端與該第二二極管的陽極端用以接收該第二參考電壓。

更好地，該第一二極管與該第二二極管為多晶硅二極管。

更好地，該源極隨耦器更包括一第二輸出模塊，該第二輸出模塊包括：

一第三晶體管，其具有一第一端用以接收該第一參考電壓，且該第三晶體管具有一第二端電性連接一第二輸出端，該第三晶體管的控制端電性連接一第二電流源；以及

一第四晶體管，其具一第一端電性連接該第三晶體管的第二端，該第四晶體管的第二端電性連接該第三晶體管的控制端，該第四晶體管的控制端用以接收一第二參考電壓；

其中，該第二輸出模塊用以經由該第二輸出端提供該共模電壓，對應于該第一晶體管與第二晶體管，該第三晶體管與第四晶體管同為N型晶體管或P型晶體管。

更好地，該第一電流源的輸出電流大小與該第二電流源的輸出電流大小相同。