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[發明專利]一種金剛線切割多晶硅片的制絨預處理方法及制絨方法有效

專利信息
申請號: 201610963805.5 申請日: 2016-10-28
公開(公告)號: CN106400122B 公開(公告)日: 2018-12-28
發明(設計)人: 劉立新 申請(專利權)人: 杭州太能硅業有限公司
主分類號: C30B33/10 分類號: C30B33/10;C30B33/02;C30B29/06
代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200 代理人: 邱啟旺
地址: 311228 浙江省杭州市蕭*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 金剛 切割 多晶 硅片 預處理 方法
【說明書】:
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