[發明專利]一種熱處理設備的熱偶安裝固定裝置

有效

• 申請號: 201610959734.1
• 申請日: 2016-10-28
• 公開（公告）號: CN106500861B
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 劉紅麗;趙燕平;侯建明;康飛
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01K1/14
• 分類號: G01K1/14
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

本發明公開了一種熱處理設備的熱偶安裝固定裝置，包括：熱偶固定塊，其前后兩側向內相向設有相通的一至若干對熱偶套管連接孔和熱偶連接孔，并設有通向熱偶連接孔的止動結構；熱偶固定支架，可拆卸連接熱偶固定塊，并與熱處理設備固定，熱偶固定支架從熱偶固定塊的底面或頂面位置水平突出于熱偶固定塊前端設置；熱偶套管，一端插入熱偶套管連接孔與熱偶固定塊形成套接，另一端支撐于熱處理設備；熱偶套管固定支架，可拆卸設于熱偶固定支架水平突出部，提供對熱偶套管的支撐。本發明具有結構簡單，質量輕，操作方便，成本低的綜合優勢。

技術領域

本發明涉及半導體工藝設備領域，更具體地，涉及一種熱處理設備的熱偶安裝固定裝置。

背景技術

半導體熱處理設備是集成電路制造的重要工藝設備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。在熱處理工藝過程中，需要將熱偶插入至爐絲之間，對爐絲進行測溫，以保證工藝溫度。由于熱偶是一種脆性材料，這就給熱偶的安裝固定帶來很大困難。如果無法有效地固定熱偶，致使熱偶在安裝和后續的工作過程中發生松動、搖擺的現象，就容易導致熱偶損壞，并給溫度的測量帶來不利的影響，最后影響到整個熱處理工藝的結果。

請參閱圖1，圖1是一種傳統的熱偶固定裝置結構示意圖。如圖1所示，該熱偶固定裝置包括熱偶支撐板1、熱偶固定塊3、熱偶固定片4、陶瓷定位塊6。熱偶支撐板1為陶瓷件，通過螺釘10固定在熱處理熱備上，并可以調整上下位置(如圖示上下方向箭頭所指)。不銹鋼的熱偶固定塊3插在熱偶支撐板1上，并與不銹鋼的熱偶固定片4一起通過螺釘5固定在熱偶支撐板1上(圖示順、逆時針方向箭頭代表螺釘5的轉動方向)；熱偶固定塊3與熱偶固定片4同樣可以調整上下位置。熱偶支撐板1具有的套筒結構2用于保護插入其中的熱偶7，以免熱偶7被熱處理設備壓碎。陶瓷定位塊6套在熱偶7冷端的接線盒8之前的保護管上，并與熱偶7粘結后安裝到熱偶支撐板1上；陶瓷定位塊6與熱偶7配合使用，以確定熱偶的插入深度(如圖示左右方向箭頭所指)。

當使用上述熱偶固定裝置更換熱偶7時，首先松開螺釘5，把熱偶固定片4抬起，將熱偶7連帶陶瓷定位塊6從熱偶支撐板1移除；其次，取新的熱偶7、陶瓷定位塊6和粘結劑按照要求位置進行粘結；粘結后抬起熱偶固定片4，把熱偶7插入到熱偶支撐板1的套筒結構2中至合適位置；最后落下熱偶固定片4并擰緊螺釘5，完成熱偶7的更換及固定。

然而，上述熱偶固定裝置存在以下問題：

1)裝置結構復雜，且陶瓷件加工困難，價格貴，增加了使用成本；

2)陶瓷定位塊與熱偶之間需要粘結后才能使用，在更換熱偶時將給現場操作造成困難；

3)陶瓷件與不銹鋼件通過螺釘進行連接，使螺釘的扭矩大小受到限制，容易造成熱偶的松動。

針對以上問題，需要提供一種新的熱處理設備的熱偶安裝固定裝置。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種熱處理設備的熱偶安裝固定裝置，其結構簡單，操作方便，并具有較低成本。

為實現上述目的，本發明的技術方案如下：

一種熱處理設備的熱偶安裝固定裝置，包括：

熱偶固定塊，其前后兩側向內相向設有相通的一至若干對熱偶套管連接孔和熱偶連接孔，并設有通向熱偶連接孔的止動結構；

熱偶固定支架，可拆卸連接熱偶固定塊，并與熱處理設備固定，所述熱偶固定支架從熱偶固定塊的底面或頂面位置水平突出于熱偶固定塊前端設置；

熱偶套管，一端插入熱偶套管連接孔與熱偶固定塊形成套接，另一端支撐于熱處理設備；

熱偶套管固定支架，可拆卸設于熱偶固定支架水平突出部，提供對熱偶套管的支撐；