[發明專利]流率測量型粘性液體施配器和施配方法

在審

• 申請號: 201610957907.6
• 申請日: 2016-10-27
• 公開（公告）號: CN107017183A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 洪承珉
• 申請（專利權）人: 普羅科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 楊文娟,臧建明

1.一種流率測量型粘性液體施配器，其特征在于包括：

注射器，用于存儲待施配的粘性液體；

泵模塊，包括噴嘴，且通過從所述注射器接收所述粘性液體，而經由所述噴嘴施配所述粘性液體；

流率傳感器模塊，安裝于連接所述泵模塊的所述噴嘴和所述注射器的流動路徑中，且經配置以測量所述粘性液體的流率；以及

控制器，經配置以接收使用所述流率傳感器模塊測量的所述粘性液體的所述流率，且產生用于控制所述泵模塊的操作的控制信號。

2.根據權利要求1所述的流率測量型粘性液體施配器，其特征在于，所述流率傳感器模塊包括：

測量管，所述粘性液體流動穿過所述測量管，且所述測量管具有均勻內管；

加熱器，安裝于所述測量管中以加熱所述粘性液體；

多個溫度傳感器，彼此間隔開且布置成鄰近于所述測量管中的所述加熱器，以測量所述粘性液體的溫度；以及

計算器，用于基于所述多個溫度傳感器的測量值的差而計算所述粘性液體的速度，且將所述粘性液體的所述速度傳遞到所述控制器。

3.根據權利要求1所述的流率測量型粘性液體施配器，其特征在于，所述泵模塊包括：

儲液槽，連接到所述噴嘴且從所述注射器接收所述粘性液體；

閥桿，能夠提升地插入到所述儲液槽中；以及

升降單元，用于根據所述控制器的信號上下移動所述閥桿，

其中，所述流率傳感器模塊安裝在所述注射器與所述儲液槽之間，

其中，所述控制器控制所述升降單元的操作。

4.根據權利要求1所述的流率測量型粘性液體施配器，特征在于，所述泵模塊包括：

噴射路徑，連接到所述噴嘴，以使得經由所述噴射路徑將所述注射器的所述粘性液體轉移到所述噴嘴；以及

氣動路徑，連接到所述噴射路徑，以使得經由所述氣動路徑轉移氣動壓力，且經由所述噴嘴噴射所述粘性液體，

其中，所述流率傳感器模塊安裝在所述注射器與所述噴射路徑之間，

其中，所述控制器控制轉移到所述氣動路徑的空氣的壓力。

5.一種流率測量型粘性液體施配方法，其特征在于包括：

(a)操作泵模塊，以經由所述泵模塊的噴嘴，而施配存儲于注射器中的粘性液體；

(b)通過使用安裝于連接所述注射器和所述噴嘴的路徑中的流率傳感器模塊，而測量從所述注射器轉移到所述噴嘴的所述粘性液體的流率；以及

(c)基于(b)中測得的所述粘性液體的所述流率，增加或減少經由所述泵模塊的所述噴嘴而施配的所述粘性液體的量。

6.根據權利要求5所述的流率測量型粘性液體施配方法，其特征在于，步驟(b)包括：

(b-1)通過使用安裝在所述注射器與所述噴嘴之間的測量管中的加熱器，而加熱所述粘性液體；

(b-2)通過使用彼此間隔開且布置成鄰近于所述加熱器的多個溫度傳感器，而測量所述粘性液體的溫度；以及

(b-3)基于使用所述多個溫度傳感器測量的溫度差，而計算所述粘性液體的速度。

7.根據權利要求5所述的流率測量型粘性液體施配方法，其特征在于，

在步驟(a)中，通過使用噴射方法，經由所述噴嘴而施配所述粘性液體，且

在步驟(c)中，通過增加或減小噴射壓力，來增加或減少待施配的所述粘性液體的量。

8.根據權利要求5所述的流率測量型粘性液體施配方法，其特征在于，

在步驟(a)中，通過使用升降單元上下移動閥桿，來施配所述粘性液體，

其中，所述閥桿能夠提升地插入到儲液槽中，且從所述注射器接收所述粘性液體，并將所述粘性液體轉移到所述噴嘴，

其中，在步驟(c)中，通過改變上下移動速度、上下移動沖程和通過使用所述升降單元上下移動所述閥桿的次數中的至少一個，而增加或減少待施配的所述粘性液體的量。