[發明專利]多柵極元件在審
| 申請號： | 201610937203.2 | 申請日： | 2016-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN106816471A | 公開（公告）日： | 2017-06-09 |
| 發明（設計）人： | 江國誠;黃靖方;卡羅司·迪亞茲;王志豪;謝文興;梁英強 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/423 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柵極 元件 | ||
【權利要求書】：
1.一種多柵極元件，其特征在于，包含：
一源極/漏極特征，設置于一基板上，該源極/漏極特征包含：一第一納米線；一第二納米線，設置于該第一納米線上；一包覆層，設置于該第一納米線及該第二納米線上；以及一間隔層，自該第一納米線延伸至該第二納米線；以及
一導電特征，直接設置于該源極/漏極特征上，以使得該導電特征與該包覆層及該間隔層實體接觸。
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