[發明專利]一種基于實時系統的熱處理設備溫度控制裝置及方法有效
| 申請號： | 201610930628.0 | 申請日： | 2016-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN106406388B | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發明（設計）人： | 徐冬;劉晨曦 | 申請（專利權）人： | 北京北方華創微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G05D23/30 | 分類號： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龍;張磊 |
| 地址： | 100176 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 實時 系統 熱處理 設備 溫度 控制 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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