[發(fā)明專利]一種提高碳化硅粉源徑向溫度均勻性的石墨坩堝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610920976.X | 申請日： | 2016-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN106367812A | 公開（公告）日： | 2017-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊翠柏;方聰;陳丙振 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京鼎泰芯源科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B23/02 |
| 代理公司： | 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11327 | 代理人： | 陳英俊,許向彤 |
| 地址： | 100080 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 碳化硅 徑向 溫度 均勻 石墨 坩堝 | ||
【說明書】：
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