[發明專利]感光性組合物及其應用

在審

• 申請號: 201610915919.2
• 申請日: 2016-10-20
• 公開（公告）號: CN106610565A
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 近藤學;龜井佑典
• 申請（專利權）人: 捷恩智株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004;G02B1/14;G02B5/20
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 李艷,臧建明

技術領域

本發明涉及一種用于形成電子零件中的絕緣材料、半導體裝置中的鈍化膜、緩沖涂膜、層間絕緣膜、或平坦化膜，或顯示元件中的層間絕緣膜或彩色濾光片用保護膜等的感光性組合物、利用該感光性組合物的透明膜、及包含該膜的電子零件。

背景技術

在顯示元件等元件的制造工序中，有時進行有機溶劑、酸、堿溶液等各種化學品處理，或者在通過濺射(sputtering)而成膜配線電極時，將表面局部地加熱為高溫。因此，有時為了防止各種元件的表面的劣化、損傷、變質而設置表面保護膜。對于這些保護膜，要求可以耐受如上所述的制造工序中的各種處理的各特性。具體而言，要求耐熱性、耐溶劑性/耐酸性/耐堿性等耐化學品性、耐水性、對玻璃等基底基板的密接性、透明性、耐劃傷性、平坦性、耐光性等。而且，在推進顯示元件的高視角化、高速響應化、高精細化等高性能化的現狀下，在用作彩色濾光片保護膜的情況下，期望透明性、耐熱性及平坦化特性得到提高的材料。

用以形成這些保護膜的硬化性組合物的種類可大致區別為感光性組合物、熱硬化性組合物。在形成膜時通過高溫加熱使熱硬化性組合物完全硬化，因此，即使在其后的工序中存在有加熱至高溫的情況，產生的揮發成分也少，耐熱性也優異。具有該優異特性的熱硬化性的保護膜材料存在有聚酯酰胺酸組合物(例如，參照專利文獻1)。然而，熱硬化性組合物在制造屏分割時無法形成劃痕線(scribe line)而大量地產生保護膜的細屑，因此在其后需要進行高度的屏洗凈工序。

另一方面，感光性組合物包含具有光聚合性基的聚合物或寡聚物或者單體與光聚合引發劑，且因以紫外線為代表的光的能量而引起化學反應，并進行硬化。感光性組合物例如可容易地形成用于制造屏分割時的劃痕線，因此存在有不產生保護膜的細屑等優點，相反的，與由熱硬化性組合物所形成的保護膜相比，由通常的感光性組合物所形成的保護膜的耐熱性不充分。

近年來，需要耐熱性的保護膜的需求逐漸增加，進而需要微細圖案形狀的保護膜的需求也逐漸增加。由此，謀求可形成耐熱性優異的保護膜且可形成微細圖案的感光性組合物。

可形成具有非常優異的耐熱性的保護膜的感光性組合物存在有聚酰亞胺前體組合物(例如，參照專利文獻2)、可溶性聚酰亞胺組合物(例如，參照專利文獻3)。然而，即便在任何的感光性組合物中，可使所得的聚酰亞胺前體組合物或可溶性聚酰亞胺組合物溶解的有機溶劑也被限定，也需要極性非常高的有機溶劑。

溶解聚酰亞胺前體組合物、可溶性聚酰亞胺組合物等的極性高的有機溶劑可列舉：吡咯烷酮系、亞砜系、甲酰胺系、乙酰胺系、酚系、四氫呋喃、二噁烷、γ-丁內酯等。

特別是在將這些感光性組合物用作彩色濾光片保護膜的情況下，如果含有這些極性高的有機溶劑，則滲入基底的彩色濾光片層，例如像素中所含有的顏料或染料等著色材料溶出，因此難以制作高質量的顯示元件。

將感光性組合物用于彩色濾光片的保護膜中的例子存在有專利文獻4及專利文獻5，但本發明人等人欲使用這些專利文獻中所記載的感光性組合物來形成保護膜，結果所形成的圖案并非令人充分滿意，而期望進一步改良。

而且，不論感光性組合物、熱硬化性組合物，都要求這些硬化性組合物在基底基板上的涂布性優異。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-156546號公報

[專利文獻2]日本專利特開昭59-68332號公報

[專利文獻3]日本專利特開2002-3516號公報

[專利文獻4]日本專利特開2014-074787號公報

[專利文獻5]日本專利特開2009-286904號公報

發明內容

[發明所欲解決的問題]

本發明的課題在于提供一種不需要極性高的有機溶劑，而透明性、耐熱性、平坦性及解析性特別優異的硬化膜及提供該硬化膜的組合物。進而，提供一種具有所述硬化膜的電子零件。

[解決問題的技術手段]

本發明人等人為了解決所述課題而進行了努力研究，結果發現通過如下的組合物、及使該組合物硬化而獲得的硬化膜可達成所述目的，從而完成了本發明，所述組合物包含聚酯酰胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合引發劑、環氧化合物、環氧硬化劑及分子量調整劑，所述聚酯酰胺酸是由包含四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物的化合物的反應而獲得。

本發明包含以下的構成。