[發明專利]一種立方氮化硼薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201610914489.2 | 申請日： | 2016-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN106399938A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 李丙文;馬寧 | 申請（專利權）人： | 富耐克超硬材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 鄭州立格知識產權代理有限公司41126 | 代理人： | 田小伍,付紅莉 |
| 地址： | 450000 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 立方 氮化 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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