[發明專利]圖像傳感器

有效

• 申請號: 201610886029.3
• 申請日: 2016-10-11
• 公開（公告）號: CN107017270B
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 鄭榮友
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王新華

1.一種圖像傳感器，包括：

第一基板，所述第一基板包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面是所述第一基板的相反的表面，所述第一基板包括有源像素傳感器區域、圍繞所述有源像素傳感器區域的光學黑傳感器區域、和在所述光學黑傳感器區域的一側的周邊電路區域，所述有源像素傳感器區域包括光電轉換區域；

微透鏡，在所述第一表面上；

多層互連結構，在所述第二表面上；以及

散熱層，在所述第一表面和/或所述第二表面上，所述散熱層垂直地交疊所述周邊電路區域的至少一部分和所述光學黑傳感器區域兩者，所述散熱層包括人造金剛石層、石墨烯層和類金剛石碳層中的至少一個。

2.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述散熱層在所述第一基板的所述第一表面和所述微透鏡之間。

3.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述散熱層在所述第二表面上，使得所述多層互連結構在所述散熱層和所述第二表面之間。

4.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述散熱層垂直地交疊所述有源像素傳感器區域。

5.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述散熱層在所述有源像素傳感器區域的全部上。

6.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中

所述散熱層在所述多層互連結構上，并且

所述圖像傳感器還包括熱輻射構件，所述熱輻射構件連接到所述散熱層的至少一部分。

7.如權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

第二基板，所述第二基板通過連接通路電聯接到所述有源像素傳感器區域，所述連接通路延伸穿過所述第一基板，所述第二基板具有頂表面，所述第二基板的所述頂表面面對所述第一基板的所述第二表面，所述第二基板包括電路區域，

其中所述散熱層在所述第一基板的所述第二表面和所述第二基板的所述頂表面之間。

8.如權利要求7所述的圖像傳感器，其中

所述散熱層與所述多層互連結構接觸，并且

所述散熱層在所述電路區域的全部上。

9.一種圖像傳感器，包括：

第一基板，所述第一基板包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面是所述第一基板的相反的表面，所述第一基板包括有源像素傳感器區域、圍繞所述有源像素傳感器區域的光學黑傳感器區域、和在所述光學黑傳感器區域的一側的周邊電路區域，所述有源像素傳感器區域包括光電轉換區域，所述周邊電路區域包括電路區域；

微透鏡，在所述第一表面上；

多層互連結構，在所述第二表面上；以及

散熱層，在所述第一表面和/或所述第二表面上，其中所述散熱層垂直地交疊所述有源像素傳感器區域的整個區域、所述光學黑傳感器區域和所述電路區域。

10.如權利要求9所述的圖像傳感器，還包括：

第二基板，所述第二基板通過連接通路電聯接到所述第一基板的所述有源像素傳感器區域，所述連接通路延伸穿過所述第一基板，所述第二基板具有頂表面，所述頂表面面對所述第一基板的所述第二表面，所述第二基板包括電路區域，

其中所述散熱層在所述第一基板的所述第二表面和所述第二基板的所述頂表面之間。

11.如權利要求10所述的圖像傳感器，其中所述散熱層與所述多層互連結構接觸并在所述電路區域的全部上。