[發(fā)明專利]離子源菱形截面鉬電極外表面仿形模遞次加工成型方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610855030.X | 申請日: | 2016-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN106340432B | 公開(公告)日: | 2020-04-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李軍;胡純棟 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 |
| 主分類號: | H01J9/02 | 分類號: | H01J9/02 |
| 代理公司: | 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人: | 朱榮 |
| 地址: | 230031 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 離子源 菱形 截面 電極 外表 面仿形模遞次 加工 成型 方法 | ||
【權(quán)利要求書】:
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