[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201610849546.3
• 申請日: 2016-09-23
• 公開（公告）號: CN107030391B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 田中康平;萬波秀年;藤澤尚俊;野村洋志;尾上若奈;澤邊大樹
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/046;H01L21/78;B23K101/40
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

1.一種激光加工裝置，其中，該激光加工裝置具有：

第一激光機構，其包含：第一卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；第一X軸進給構件，其在X軸方向上對該第一卡盤工作臺進行加工進給；第一Y軸進給構件，其在垂直于該X軸方向的Y軸方向上對該第一卡盤工作臺進行加工進給；以及第一聚光器，其將激光光線聚光到該第一卡盤工作臺上所保持的被加工物；

第二激光機構，其包含：第二卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；第二X軸進給構件，其在X軸方向上對該第二卡盤工作臺進行加工進給；第二Y軸進給構件，其在垂直于該X軸方向的Y軸方向上對該第二卡盤工作臺進行加工進給；以及第二聚光器，其將激光光線聚光到該第二卡盤工作臺上所保持的被加工物；

激光振蕩器，其振蕩出激光光線；

光學系統，其將該激光振蕩器振蕩出的激光光線分支到該第一聚光器和該第二聚光器，

所述光學系統包含：

1/2波長板，其使所述激光振蕩器射出的激光光線的偏光面旋轉；和

偏光分束器，其配設在該1/2波長板的下游側，使從該1/2波長板射出的激光光線分支成S偏光的第一激光光線和P偏光的第二激光光線，

通過使該1/2波長板旋轉，由此變更從該偏光分束器射出的S偏光的第一激光光線與P偏光的第二激光光線的強度比；

第一操作面板，其對該第一激光機構設定加工條件；以及

第二操作面板，其對該第二激光機構設定加工條件，

該激光加工裝置具有將該第一激光機構和該第二激光機構罩住的機殼，在該機殼中，在對該第一激光機構搬入被加工物的位置配設有第一開閉門，在對該第二激光機構搬入被加工物的位置配設有第二開閉門，在所述第一激光機構的側方設置有第一觀察窗，在所述第二激光機構的側方設置有第二觀察窗，

該第一操作面板配設于該第一開閉門，該第二操作面板配設于該第二開閉門，

該第一開閉門和該第二開閉門在該機殼的垂直于X軸方向的面上沿Y軸方向并排設置，

所述第一開閉門和所述第二開閉門分別向其所位于的一側打開而對開，所述第一開閉門上的所述第一操作面板向所述第一開閉門所位于的一側打開，所述第二開閉門上的所述第二操作面板向所述第二開閉門所位于的一側打開，

操作員能夠將所述第一操作面板和/或所述第二操作面板打開，從而一邊對所述第一觀察窗和/或所述第二觀察窗進行觀察一邊操作所述第一操作面板和/或所述第二操作面板。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，

該第一卡盤工作臺定位于第一裝卸區域和第一加工區域，在該第一裝卸區域中，通過該第一X軸進給構件對被加工物進行裝卸，在該第一加工區域中，通過從該第一聚光器照射的激光光線對被加工物實施加工，

在該第一裝卸區域中配設有：第一盒工作臺，其對收納了被加工物的盒進行載置；第一搬送構件，其將被加工物從載置于該第一盒工作臺的盒搬送到臨時載置被加工物的第一臨時載置構件；以及第一搬入構件，其將搬送到該第一臨時載置構件的被加工物搬入該第一卡盤工作臺，

當相對于該第一盒工作臺對該盒進行裝卸時，該第一開閉門成為打開狀態，

該第二卡盤工作臺定位于第二裝卸區域和第二加工區域，在該第二裝卸區域中，通過該第二X軸進給構件對被加工物進行裝卸，在該第二加工區域中，通過從該第二聚光器照射的激光光線對被加工物實施加工，

在該第二裝卸區域中配設有：第二盒工作臺，其對收納了被加工物的盒進行載置；第二搬送構件，其將被加工物從載置于該第二盒工作臺的盒搬送到臨時載置被加工物的第二臨時載置構件；以及第二搬入構件，其將搬送到該第二臨時載置構件的被加工物搬入該卡盤工作臺，

當相對于該第二盒工作臺對該盒進行裝卸時，該第二開閉門成為打開狀態。