[發(fā)明專利]一種等離子體處理器、移動環(huán)清潔維持系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610849212.6
• 申請日: 2016-09-26
• 公開（公告）號: CN107871648B
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁潔;涂樂義
• 申請（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 潘朱慧

1.一種移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)，用于阻止在等離子處理過程中等離子處理器中的移動環(huán)（1）底部和外側(cè)壁表面沉積形成聚合物（3），所述的等離子處理器包括一反應(yīng)腔（7），反應(yīng)腔（7）內(nèi)包括一個用于放置待處理晶圓的基座（6），基座（6）上方包括反應(yīng)氣體進氣裝置用于輸入反應(yīng)氣體到所述基座（6）上方，在等離子處理過程中所述反應(yīng)氣體在基座（6）上方被電離形成等離子體，移動環(huán)（1）位于反應(yīng)腔（7）內(nèi)并圍繞所述等離子體，其特征在于，所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)包含：

超聲波換能器（2），安裝在移動環(huán)（1）中；

超聲波發(fā)生器（4），其輸出端連接所述的超聲波換能器（2）。

2.如權(quán)利要求1所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)，其特征在于，還包含：

控制系統(tǒng)（5），連接所述超聲波發(fā)生器（2）的輸入端，在線控制超聲波發(fā)生器（4）的輸出功率大小和功率持續(xù)時間。

3.如權(quán)利要求1所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)，其特征在于：

在移動環(huán)（1）中均勻分布設(shè)置多個所述的超聲波換能器（2）。

4.如權(quán)利要求1所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)，其特征在于：

在所述的移動環(huán)（1）上開槽，用于容納所述的超聲波換能器（2）。

5.如權(quán)利要求1所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)，其特征在于：

超聲波換能器（2）埋設(shè)在移動環(huán)（1）中，使超聲波換能器（2）不暴露于等離子體。

6.如權(quán)利要求5所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)，其特征在于：

所述的超聲波換能器（2）埋設(shè)在移動環(huán)（1）的底表面和/或外側(cè)壁中。

7.一種移動環(huán)潔凈維持方法，其特征在于：

在等離子處理過程中，在移動環(huán)（1）中安裝超聲波換能器（2），其將超聲波發(fā)生器（4）發(fā)出的高頻振動信號轉(zhuǎn)換成高頻機械振蕩以阻止移動環(huán)（1）表面聚合物（3）的聚集；

超聲波換能器（2）的輸入端連接超聲波發(fā)生器（4）的輸出端，超聲波發(fā)生器（4）向超聲波換能器（2）提供功率以及高頻振動信號。

8.如權(quán)利要求7所述的移動環(huán)潔凈維持方法，其特征在于：

超聲波發(fā)生器（4）的輸入端連接一控制系統(tǒng)（5），控制系統(tǒng)（5）在線控制超聲波發(fā)生器（4）的輸出功率大小和功率持續(xù)時間，以實現(xiàn)超聲波換能器（2）對移動環(huán)（1）在線清潔維持過程的調(diào)節(jié)和控制。

9.如權(quán)利要求7所述的移動環(huán)潔凈維持方法，其特征在于：

在移動環(huán)（1）中均勻分布設(shè)置多個所述的超聲波換能器（2）。

10.如權(quán)利要求7所述的移動環(huán)潔凈維持方法，其特征在于：

在所述的移動環(huán)（1）上開槽，用于容納所述的超聲波換能器（2）。

11.如權(quán)利要求7所述的移動環(huán)潔凈維持方法，其特征在于：

超聲波換能器（2）埋設(shè)在移動環(huán)（1）中，使超聲波換能器（2）不暴露于等離子體。

12.如權(quán)利要求7所述的移動環(huán)潔凈維持方法，其特征在于：

所述超聲波換能器（2）發(fā)射超聲波的方向為移動環(huán)（1）表面聚合物（3）的沉積方向。

13.一種等離子體處理器，其特征在于：包含如權(quán)利要求1~6中任意一項所述的移動環(huán)潔凈維持系統(tǒng)。