[發(fā)明專利]振動器件、振蕩器、電子設(shè)備以及移動體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610846261.4
• 申請日: 2016-09-23
• 公開（公告）號: CN107017863B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小幡直久
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;H03H9/13
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

本發(fā)明提供振動器件、振蕩器、電子設(shè)備以及移動體。振動器件包含：基板；振動片，其包含基材和一對激勵電極，該一對激勵電極包含第1金屬層和第2金屬層；以及第1接合部件和第2接合部件，在設(shè)第1接合中心與第2接合中心之間的距離為L1、從設(shè)振動區(qū)域中心引垂直于連結(jié)第1接合中心與第2接合中心的假想線的垂線的長度為L2、設(shè)第1金屬層的線膨脹系數(shù)為α1、將第2金屬層的線膨脹系數(shù)為α2、設(shè)基材的線膨脹系數(shù)為α3、設(shè)振動片的所述第1方向的長度尺寸為L3時，滿足0L1/L2≤0.97、|(α2?α1)/α1|≤0.35、|(α3?α1)/α1|≤0.35且L3≤1.5mm。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及振動器件、振蕩器、電子設(shè)備以及移動體。

背景技術(shù)

以往，在通信設(shè)備領(lǐng)域中，為了得到穩(wěn)定的頻率的信號，使用利用由石英等壓電體形成的振動片來輸出期望頻率的信號的石英振子和石英振蕩器等振動器件。例如，如日本特開2014-86842號公報中記載的那樣，公開了如下結(jié)構(gòu)：在通過導(dǎo)電性粘接劑將振動片懸臂支承于容器內(nèi)的連接焊盤的振動器件中，通過在容器內(nèi)的電極焊盤上設(shè)置堤壩部，來穩(wěn)定地確保導(dǎo)電性粘接劑的厚度。在該結(jié)構(gòu)中，公開了如下振動器件，通過使從容器外經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑向振動片傳遞的熱不容易被傳遞，來使振動片內(nèi)的溫度梯度變小，能夠降低振動器件的頻率特性的變動，例如，頻率變化相對于溫度變化的再現(xiàn)性，所謂的磁滯。

但是，在日本特開2014-86842號公報所示的振動器件中，振動器件的頻率特性的變動即磁滯除了從容器外傳遞的熱以外，還根據(jù)因振動器件的周圍溫度變化而施加于振動片的應(yīng)力而變化。因振動器件的周圍溫度變化而施加于振動片的應(yīng)力也受連接振動片和容器的連接部件之間的距離與振動片的激勵電極之間的位置關(guān)系影響。此外，為了進(jìn)一步應(yīng)用于小型的振動器件，越使振動片小型，則受到連接部件之間的距離與振動片的激勵電極的位置關(guān)系的影響越大。例如，認(rèn)為連接部件排列的方向的振動片尺寸(長度)為1.5mm以下的小型振動片的磁滯受到激勵電極與連接部件的位置關(guān)系以及激勵電極的材質(zhì)(線膨脹系數(shù))等的影響較大。因此，如日本特開2014-86842號公報的振動器件那樣，單純地將連接容器與振動片的導(dǎo)電性粘接劑的厚度確保為穩(wěn)定，可能使振動器件的特性變動，例如，磁滯等變大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

【應(yīng)用例1】本應(yīng)用例的振動器件具有：基板；振動片，其具有振動區(qū)域，該振動區(qū)域夾在配置于基材的表里的各個面上的一對激勵電極中；第1接合部件和第2接合部件，它們在沿著所述振動片的第1邊的第1方向上排列，將所述基板與所述振動片接合，所述激勵電極具有配置于所述基材側(cè)的第1金屬層以及配置于所述第1金屬層的所述基板側(cè)的相反側(cè)的第2金屬層，設(shè)所述第1接合部件的所述振動片側(cè)的面的中心為第 1接合中心、設(shè)所述第2接合部件的所述振動片側(cè)的面的中心為第2接合中心、設(shè)從所述振動區(qū)域的所述一對激勵電極的一方側(cè)觀察的中心為振動區(qū)域中心，在設(shè)所述第1 接合中心與所述第2接合中心之間的距離為L1，設(shè)從所述振動區(qū)域中心引垂直于連結(jié)所述第1接合中心與所述第2接合中心的假想線的垂線的長度為L2、設(shè)所述第1金屬層的線膨脹系數(shù)為α1、設(shè)所述第2金屬層的線膨脹系數(shù)為α2、設(shè)所述基材的線膨脹系數(shù)為α3、設(shè)所述振動片的所述第1方向的長度尺寸為L3時，滿足0L1/L2≤0.97、|(α2-α1) /α1|≤0.35、|(α3-α1)/α1|≤0.35且L3≤1.5mm。