[發(fā)明專(zhuān)利]形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610846221.X
• 申請(qǐng)日: 2016-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106802141B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 野田孝;出口博美;村田憲彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社三豐
• 主分類(lèi)號(hào): G01B21/20
• 分類(lèi)號(hào): G01B21/20
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法，所述形狀測(cè)量設(shè)備包括：探測(cè)器，其前端具有觸針針尖；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于使所述探測(cè)器移動(dòng)，并且所述形狀測(cè)量設(shè)備被配置為通過(guò)檢測(cè)所述觸針針尖與工件的表面之間的接觸來(lái)測(cè)量所述工件的形狀，所述控制方法包括以下步驟：

為了基于所述工件的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)計(jì)算用以使所述觸針針尖移動(dòng)的標(biāo)稱(chēng)掃描路徑，并且為了在控制所述觸針針尖以使所述探測(cè)器相對(duì)于所述工件的偏轉(zhuǎn)量保持為基準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)量的同時(shí)、使所述觸針針尖沿著所述標(biāo)稱(chēng)掃描路徑移動(dòng)，根據(jù)通過(guò)以下表達(dá)式所表示的合成速度矢量來(lái)生成針對(duì)所述探測(cè)器的移動(dòng)指示：

合成速度矢量

其中：是用以使所述探測(cè)器沿著所述標(biāo)稱(chēng)掃描路徑移動(dòng)的路徑速度矢量，

是用以使所述探測(cè)器相對(duì)于所述工件的偏轉(zhuǎn)量保持為所述基準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)量的通過(guò)所給出的偏轉(zhuǎn)校正矢量，K是任意系數(shù)，

是所述探測(cè)器的傳感器輸出，

E₀是所述基準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)量，以及

是所述探測(cè)器的位移方向上的單位矢量，

是通過(guò)所表示的第二軌跡校正矢量，

是為了對(duì)所述探測(cè)器的位置進(jìn)行校正以使得所述觸針針尖朝向所述標(biāo)稱(chēng)掃描路徑而與從所述探測(cè)器的位置向著所述標(biāo)稱(chēng)掃描路徑引出的垂線平行的第一軌跡校正矢量，

是利用所述探測(cè)器的位移方向上的單位矢量與所述路徑速度矢量的矢積所給出的軌跡校正方向矢量，以及

Gf、Ge和Gc分別是掃描驅(qū)動(dòng)增益、偏轉(zhuǎn)校正增益和軌跡校正增益。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法，其中，所述軌跡校正方向矢量是通過(guò)或者所表示的。

3.一種非易失性記錄介質(zhì)，該非易失性記錄介質(zhì)用于記錄控制程序，所述控制程序用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行權(quán)利要求1或2所述的形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法。