[發明專利]抓持機構有效
| 申請號： | 201610842828.0 | 申請日： | 2016-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN106825649B | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 柏木佑介;乙坂哲也 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | B23B31/103 | 分類號： | B23B31/103;B23B31/12 |
| 代理公司： | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀純 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 機構 | ||
【權利要求書】：
1.一種抓持機構，其特征在于：具備：多個卡盤爪，在相互接近的情況下產生對被抓持體的抓持力；
卡盤體，將所述多個卡盤爪保持在共同的平面上，并使它們在所述平面上移動；以及
多個夾盤，在所述多個卡盤爪各自抓持所述被抓持體的情況下，介置在所述多個卡盤爪中的每一個與所述被抓持體之間；且
該抓持機構的所述多個卡盤爪的熱膨脹系數α1、所述多個夾盤的熱膨脹系數α2及所述被抓持體的熱膨脹系數αW之間具有下述式1所示的關系：
αW＜α1＜α2(式1)；
在將所述被抓持體的外徑設為Dw的情況下，所述夾盤的厚度d0滿足下述式3：
d0≦{DW(αW-α1)}/{2(α1-α2)}(式3)。
2.根據權利要求1所述的抓持機構，其特征在于：所述式1的關系在0℃以上且250℃以下的溫度范圍內得以滿足。
3.根據權利要求1或2所述的抓持機構，其特征在于：所述卡盤體具有將驅動力傳遞到所述多個卡盤爪而使它們在所述平面上移動的卷軸。
4.根據權利要求1或2所述的抓持機構，其特征在于：在所述卡盤體具有熱膨脹系數α0的情況下，下述式2所示的關系成立：
α0≦α1(式2)。
5.根據權利要求1或2所述的抓持機構，其特征在于：所述熱膨脹系數α1為0.5×10-6/K以上且19.0×10-6/K以下，
所述熱膨脹系數α2為16.0×10-6/K以上且24.0×10-6/K以下。
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