[發明專利]一種厚膜SOI-LIGBT器件及其抗閂鎖能力的提高方法有效
| 申請號: | 201610835934.6 | 申請日: | 2016-09-20 |
| 公開(公告)號: | CN106252400B | 公開(公告)日: | 2019-06-18 |
| 發明(設計)人: | 孫偉鋒;李秀軍;葉然;魏家行;楊翰琪;劉斯揚;陸生禮;時龍興 | 申請(專利權)人: | 東南大學 |
| 主分類號: | H01L29/739 | 分類號: | H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331 |
| 代理公司: | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 214135 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 soi ligbt 器件 及其 抗閂鎖 能力 提高 方法 | ||
【說明書】:
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