[發(fā)明專利]一種鉑鎳合金濺射靶材及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610833269.7 | 申請日： | 2016-09-19 |
| 公開（公告）號： | CN106282639B | 公開（公告）日： | 2018-02-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 傅劍平;趙健;潘登 | 申請（專利權(quán)）人： | 中材科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C22C5/04 | 分類號： | C22C5/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京天翼專利代理有限責(zé)任公司32112 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 210012 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鎳合金 濺射 及其 制備 方法 | ||
1.一種鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：包括鉑60-80％和鎳20-40％，所述百分比為質(zhì)量百分比，鉑和鎳的質(zhì)量含量之和為100％；
鉑鎳合金濺射靶材的制備方法，依次包括清洗、鑄態(tài)、均勻化退火和溫軋；
均勻化退火為將NiPt鑄錠放入真空箱式退火爐在800±20℃下進(jìn)行均勻化退火處理，時長為5±0.2h；
溫軋在450±10℃下進(jìn)行，道次變形量為40±2％，總變形量為80±2％，合金的最終厚度為1±0.1mm，溫軋后采用線切割制成靶材。
2.如權(quán)利要求1所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：清洗為分別將鎳片和鉑片進(jìn)行如下操作：線切割、除油、酸洗，然后在超聲波清洗器中依次用丙酮、乙醇和去離子水各清洗5±2min，最后烘干備用。
3.如權(quán)利要求1或2所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：鑄態(tài)為將清洗后的鎳和鉑按配比裝入坩堝進(jìn)行真空熔煉、澆鑄獲得NiPt鑄錠。
4.如權(quán)利要求1或2所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：包括鉑60％和鎳40％，所述百分比為質(zhì)量百分比。
5.如權(quán)利要求1或2所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：包括鉑70％和鎳30％，所述百分比為質(zhì)量百分比。
6.如權(quán)利要求1或2所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：包括鉑80％和鎳20％，所述百分比為質(zhì)量百分比。
7.如權(quán)利要求1或2所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：鉑的純度為99.99％以上，所述百分比為質(zhì)量百分比。
8.如權(quán)利要求1或2所述的鉑鎳合金濺射靶材，其特征在于：鎳的純度為99.9％以上，所述百分比為質(zhì)量百分比。
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