[發明專利]MEMS裝置、液體噴射頭和它們的制造方法、液體噴射裝置

有效

• 申請號: 201610811780.7
• 申請日: 2016-09-08
• 公開（公告）號: CN107020808B
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 長沼陽一;平井榮樹;濱口敏昭;高部本規
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

本發明提供一種MEMS裝置、液體噴射頭、液體噴射裝置、MEMS裝置的制造方法、以及液體噴射頭的制造方法，該MEMS裝置使構成記錄頭的壓力產生室形成基板不易產生機械性的損傷，從而提高記錄頭的制造成品率與品質。本發明的特征在于，包括：第一基板(33)；第二基板(29)，其與第一基板(33)層壓配置，并在第一基板(33)側具有壓電元件(32)，第一基板(33)與第二基板(29)為大致相同的尺寸，并且在俯視觀察時，第一基板(33)的端部(33a)與第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置處。

技術領域

本發明涉及一種MEMS裝置、作為MEMS裝置的一個示例的液體噴射頭、具備該液體噴射頭的液體噴射裝置、MEMS裝置的制造方法以及液體噴射頭的制造方法。

背景技術

作為MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微機電系統)裝置的一個示例的噴墨式記錄頭具有：流道形成基板，其形成有對液體進行貯留的壓力產生室；功能元件(壓電元件)，其被設置在流道形成基板的一個面側，所述噴墨式記錄頭通過對壓電元件進行驅動而使壓力產生室內的液體產生壓力變化，從而從與壓力產生室連通的噴嘴噴射液滴。

作為這種壓電元件而提出一種通過成膜及光刻法而被形成在流道形成基板上的薄膜形的壓電元件。通過使用薄膜形的壓電元件而能夠高密度地配置壓電元件，但與之相對，高密度地配置的壓電元件與驅動電路的電連接將變得困難。

例如，專利文獻1所記載的噴墨式記錄頭具有：形成壓力產生室的壓力產生室形成基板、向壓力產生室內的油墨施加噴射能量的壓電致動器(壓電元件)、形成有對壓電元件進行驅動的驅動器的基板。壓力產生室形成基板與形成有驅動器的基板相比較大，壓電元件通過壓力產生室形成基板、形成有驅動器的基板和粘合劑而被密封，從而與空氣隔斷，由此實現了壓電元件的防濕。

并且，壓電元件與驅動電路經由凸點而被電連接。通過在壓電元件與驅動電路的電連接中使用凸點，從而即使在高密度地配置了壓電元件的情況下，也能夠容易地對壓電元件與驅動電路進行電連接。

然而，在為了實現噴射液體的噴嘴的高密度化而以單晶硅來制造壓力產生室形成基板，并且為了提高液體的噴射性能或噴射精度而將壓力產生室形成基板設為較薄的情況下，在專利文獻1中所記載的噴墨式記錄頭中，存在如下課題，即，由于壓力產生室形成基板與形成有驅動器的基板相比而較大，從而壓力產生室形成基板的端部從形成有驅動器的基板的端部伸出，因此易容易在壓力產生室形成基板上產生機械性的損傷。

專利文獻1：日本特開2014-51008號公報

發明內容

本發明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的發明，其能夠作為以下的方式或者應用例而實現。

應用例1

本應用例所涉及的MEMS裝置的特征在于，包括：第一基板；第二基板，其與所述第一基板層壓配置，并在所述第一基板側具有功能元件，所述第一基板與所述第二基板為大致相同的尺寸，并且在俯視觀察時，所述第一基板的端部與所述第二基板的端部被配置在大致相同的位置處。

根據本應用例，由于第一基板與具有功能元件的第二基板為大致相同的尺寸，并且在俯視觀察時第一基板的端部與第二基板的端部被配置在大致相同的位置處，因此第二基板通過第一基板而被保護，從而不易在第二基板上產生機械性的損傷。

例如，由于在以第一基板與第二基板被接合了的狀態而進行把持來制造MEMS裝置的情況下，不易在第二基板上產生機械性的損傷，因此能夠提高MEMS裝置的制造成品率，從而提高MEMS裝置的品質。

應用例2

在上述應用例所記載的MEMS裝置中，優選為，所述第一基板的厚度與所述第二基板的厚度相比而較厚。